Onderzoeksoutput per jaar
Onderzoeksoutput per jaar
Vingerafdruk
Verdiep u in de onderzoeksgebieden waarop Nicholas Chittock actief is. Deze onderwerplabels komen uit het werk van deze persoon. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.
- 1 Soortgelijke profielen
Netwerk
Recente externe samenwerking op landen-/regioniveau. Duik in de details door op de stippen te klikken of
Onderzoeksoutput
- 4 Tijdschriftartikel
-
Surface Smoothing by Atomic Layer Deposition and Etching for the Fabrication of Nanodevices
Gerritsen, S. H., Chittock, N. J., Vandalon, V., Verheijen, M. A., Knoops, H. C. M., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 23 dec. 2022, In: ACS Applied Nano Materials. 5, 12, blz. 18116-18126 11 blz.Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review
Open AccessBestand1 Citaat (Scopus)12 Downloads (Pure) -
Etching with atomic-level precision: The emerging field of atomic layer etching
Mackus, A. J. M., Faraz, T. & Chittock, N., 2 jun. 2020, In: Nevac Blad. 58, 2, blz. 40-42Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Populair
Open AccessBestand62 Downloads (Pure) -
Isotropic plasma atomic layer etching of Al2O3 using a fluorine containing plasma and Al(CH3)3
Chittock, N., Vos, M. F. J., Faraz, T., Kessels, W. M. M., Knoops, H. C. M. & Mackus, A. J. M., 20 okt. 2020, In: Applied Physics Letters. 117, 16, blz. 162107 5 blz., 162107.Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review
Open AccessBestand8 Citaten (Scopus)260 Downloads (Pure) -
Precise ion energy control with tailored waveform biasing for atomic scale processing
Faraz, T., Verstappen, Y. G. P., Verheijen, M. A., Chittock, N., Escandon Lopez, J., Heijdra, E., van Gennip, W. J. H., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 7 dec. 2020, In: Journal of Applied Physics. 128, 21, 9 blz., 213301.Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review
Open AccessBestand16 Citaties (SciVal)246 Downloads (Pure)
Datasets
-
Isotropic plasma atomic layer etching of Al2O3
Chittock, N. (Ontwerper), 4TU.Centre for Research Data, 21 okt. 2020
DOI: 10.4121/13011239
Dataset
Prijzen
-
ALE Best Student Paper Award
Chittock, Nicholas (Ontvanger), 30 jun. 2020
Prijs: Anders › Werk, activiteit of publicatie gerelateerde prijzen (lifetime, best paper, poster etc.) › Wetenschappelijk
Knipsels
-
Investigators from Eindhoven University of Technology Release New Data on Atomic Layer Deposition (Surface Smoothing By Atomic Layer Deposition and Etching for the Fabrication of Nanodevices)
Harm C.M. Knoops, Adriaan J.M. Mackus, Marcel A. Verheijen & Nicholas Chittock
3/01/23
1 item van Media-aandacht
Pers / media: Vakinhoudelijk commentaar