• 56 Citaties
20162020

Research output per year

Als u wijzigingen in Pure hebt gemaakt, zullen deze hier binnenkort zichtbaar zijn.

Vingerafdruk Verdiep u in de onderzoeksgebieden waarop Marc J.M. Merkx actief is. Deze onderwerplabels komen uit het werk van deze persoon. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Netwerk Recente externe samenwerking op landenniveau. Duik in de details door op de stippen te klikken.

Onderzoeksoutput

  • 56 Citaties
  • 3 Tijdschriftartikel
  • 1 Conferentiebijdrage

Mechanism of precursor blocking by acetylacetone inhibitor molecules during area-selective atomic layer deposition of SiO2

Merkx, M. J. M., Sandoval, T. E., Hausmann, D. M., Kessels, W. M. M. E. & Mackus, A. J. M., 12 feb 2020, (Geaccepteerd/In druk) In : Chemistry of Materials.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

  • From the bottom-up: toward area-selective atomic layer deposition with high selectivity

    Mackus, A. J. M., Merkx, M. J. M. & Kessels, W. M. M., 8 jan 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 1, blz. 2-12 11 blz.

    Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

    Open Access
    Bestand
  • 23 Citaten (Scopus)
    266 Downloads (Pure)

    Area-selective atomic layer deposition of SiO2 using acetylacetone as a chemoselective inhibitor in an ABC-type cycle

    Mameli, A., Merkx, M. J. M., Karasulu, B., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M. & MacKus, A. J. M., 26 sep 2017, In : ACS Nano. 11, 9, blz. 9303-9311 9 blz.

    Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

    Open Access
    Bestand
  • 33 Citaten (Scopus)
    225 Downloads (Pure)

    When and why are streamers attracted to dielectric surfaces?

    Trienekens, D. J. M., Nijdam, S., Akkermans, G. R. A., Plompen, I., Merkx, M. J. M., Christen, T. & Ebert, U. M., 8 aug 2016, 2016 IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS) . Piscataway: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 1 blz.

    Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

  • 2 Downloads (Pure)

    Scriptie

    Area-selective atomic layer deposition of Al2O3

    Auteur: Angelidis, A., 2019

    Begeleider: Merkx, M. J. (Afstudeerdocent 1) & Mameli, A. (Externe coach)

    Scriptie/masterproef: Master

    Bestand

    Area-selective atomic layer deposition using inhibitor molecules in multi-step cycles

    Auteur: Jongen, R. G., 2018

    Begeleider: Merkx, M. J. (Afstudeerdocent 1) & Mackus, A. J. (Afstudeerdocent 2)

    Scriptie/masterproef: Master

    Bestand

    Creeping sparks: influences of a dielectric on the propagation of steamer channels

    Auteur: Merkx, M., 2015

    Begeleider: Trienekens, D. (Afstudeerdocent 1) & Nijdam, S. (Afstudeerdocent 2)

    Scriptie/masterproef: Bachelor

    Bestand

    The use of substrate biasing during plasma-enhanced atomic layer deposition of TiN for area-selective deposition

    Auteur: Vlaanderen, S., 2019

    Begeleider: Faraz, T. (Afstudeerdocent 1), Merkx, M. J. (Afstudeerdocent 2) & Mackus, A. J. (Afstudeerdocent 2)

    Scriptie/masterproef: Master

    Bestand