Onderzoeksoutput per jaar
Onderzoeksoutput per jaar
Vingerafdruk
Verdiep u in de onderzoeksgebieden waarop Marc J.M. Merkx actief is. Deze onderwerplabels komen uit het werk van deze persoon. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.
- 1 Soortgelijke profielen
Samenwerkingen en hoofdonderzoeksgebieden uit de afgelopen vijf jaar
Recente externe samenwerking op landen-/regioniveau. Duik in de details door op de stippen te klikken of
Onderzoeksoutput
-
Investigation of the atomic layer etching mechanism for Al2O3 using hexafluoroacetylacetone and H2 plasma
Chittock, N., Maas, J. F. W., Tezsevin, I., Merkx, M. J. M., Knoops, H. C. M., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M. (Corresponding author), 21 jan. 2025, In: Journal of Materials Chemistry C. 13, 3, blz. 1345-1358 14 blz.Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review
Open AccessBestand15 Downloads (Pure) -
Blocking mechanisms in area-selective ALD by small molecule inhibitors of different sizes: Steric shielding versus chemical passivation
Yu, P., Merkx, M. J. M., Tezsevin, I., Lemaire, P., Hausmann, D. M., Sandoval, T. E. (Corresponding author), Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M. (Corresponding author), 30 aug. 2024, In: Applied Surface Science. 665, 9 blz., 160141.Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review
Open AccessBestand12 Citaten (Scopus)80 Downloads (Pure) -
In situ formation of inhibitor species through catalytic surface reactions during area-selective atomic layer deposition of TaN
Merkx, M. J. M., Tezsevin, I., Yu, P., Janssen, T., Heinemans, R. H. G. M., Lengers, R. J., Chen, J. R., Jezewski, C. J., Clendenning, S. B., Kessels, W. M. M., Sandoval, T. E. (Corresponding author) & Mackus, A. J. M. (Corresponding author), 28 mei 2024, In: Journal of Chemical Physics. 160, 20, 9 blz., 204701.Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review
Open AccessBestand5 Citaten (Scopus)28 Downloads (Pure) -
The Consequences of Random Sequential Adsorption for the Precursor Packing and Growth-Per-Cycle of Atomic Layer Deposition Processes
Tezsevin, I., Deijkers, J. H., Merkx, M. J. M., Kessels, W. M. M., Sandoval, T. E. (Corresponding author) & Mackus, A. J. M. (Corresponding author), 25 jul. 2024, In: Journal of Physical Chemistry Letters. 15, 29, blz. 7496-7501 6 blz.Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review
Open AccessBestand28 Downloads (Pure) -
Computational investigation of precursor blocking during area-selective atomic layer deposition using aniline as a small molecule inhibitor
Tezsevin, I., Maas, J. F. W., Merkx, M. J. M., Lengers, R., Kessels, W. M. M., Sandoval, T. E. & Mackus, A. J. M. (Corresponding author), 28 mrt. 2023, In: Langmuir. 39, 12, blz. 4265-4273 9 blz.Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review
Open AccessBestand14 Citaten (Scopus)165 Downloads (Pure)
Datasets
-
Supporting information
Merkx, M. J. M. (Ontwerper), Tezsevin, I. (Ontwerper), Yu, P. (Ontwerper), Janssen, T. (Ontwerper), Heinemans, R. H. G. M. (Ontwerper), Lengers, R. J. (Ontwerper), Chen, J.-R. (Ontwerper), Jezewski, C. J. (Ontwerper), Clendenning, S. B. (Ontwerper), Kessels, W. M. M. (Ontwerper), Sandoval, T. E. (Ontwerper) & Mackus, A. J. M. (Ontwerper), AIP Publishing, 22 mei 2024
DOI: 10.60893/figshare.jcp.25743183, https://aip.figshare.com/articles/dataset/Supporting_information/25743183 en nog één link, https://aip.figshare.com/articles/dataset/Supporting_information/25743183/1 (minder tonen)
Dataset
-
Data underlying the publication: Computational Investigation of Precursor Blocking during Area-Selective Atomic Layer Deposition Using Aniline as a Small-Molecule Inhibitor
Tezsevin, I. (Ontwerper), Maas, J. F. W. (Bijdrager), Merkx, M. J. M. (Ontwerper), Lengers, R. J. (Ontwerper), Kessels, W. M. M. (Ontwerper), Sandoval, T. E. (Ontwerper) & Mackus, A. J. M. (Ontwerper), 4TU.Centre for Research Data, 7 aug. 2023
DOI: 10.4121/0bb03d8b-d1ac-49bc-8010-a498a981cf3e.v1, https://data.4tu.nl/datasets/0bb03d8b-d1ac-49bc-8010-a498a981cf3e/1 en nog één link, https://data.4tu.nl/datasets/0bb03d8b-d1ac-49bc-8010-a498a981cf3e (minder tonen)
Dataset
-
Data underlying the publication: Blocking mechanisms in area-selective ALD by small molecule inhibitors of different sizes: Steric shielding versus chemical passivation
Yu, P. (Ontwerper), Merkx, M. J. M. (Ontwerper), Tezsevin, I. (Ontwerper), Lemaire, P. C. (Ontwerper), Hausmann, D. M. (Ontwerper), Sandoval, T. E. (Ontwerper), Kessels, W. M. M. (Ontwerper) & Mackus, A. J. M. (Ontwerper), 4TU.Centre for Research Data, 2 mei 2024
DOI: 10.4121/c357264b-f395-4409-bedc-328f45f6e6ac, https://data.4tu.nl/datasets/c357264b-f395-4409-bedc-328f45f6e6ac en 2 meer links, https://data.4tu.nl/datasets/c357264b-f395-4409-bedc-328f45f6e6ac/1, https://data.4tu.nl/datasets/c357264b-f395-4409-bedc-328f45f6e6ac/2 (minder tonen)
Dataset
-
Data underlying the publication: Packing of inhibitor molecules during area-selective atomic layer deposition studied using random sequential adsorption simulations
Li, J. (Ontwerper), Tezsevin, I. (Ontwerper), Merkx, M. J. M. (Ontwerper), Maas, J. F. W. (Ontwerper), Kessels, W. M. M. (Ontwerper), Sandoval, T. E. (Ontwerper) & Mackus, A. J. M. (Ontwerper), 4TU.Centre for Research Data, 7 aug. 2023
DOI: 10.4121/33df3424-ed9b-49cb-910e-64a6d37aa6b0, https://data.4tu.nl/datasets/33df3424-ed9b-49cb-910e-64a6d37aa6b0 en nog één link, https://data.4tu.nl/datasets/33df3424-ed9b-49cb-910e-64a6d37aa6b0/1 (minder tonen)
Dataset
Knipsels
-
2D TMD Materials Enabling Future Electronics
Balasubramanyam, S., Merkx, M. J. M., Verheijen, M. A., Kessels, W. M. M., Mackus, A. J. M. & Bol, A. A.
27/06/21
1 Mediabijdrage
Pers / media: Vakinhoudelijk commentaar
Scriptie
-
Area-selective atomic layer deposition of SiO2: studied by in situ Fourier transform infrared spectroscopy and spectroscopic ellipsometry
Merkx, M. J. M. (Auteur), Mackus, A. (Afstudeerdocent 1), 2017Scriptie/Masterproef: Master
Bestand -
Creeping sparks: influences of a dielectric on the propagation of steamer channels
Merkx, M. J. M. (Auteur), Trienekens, D. J. M. (Afstudeerdocent 1) & Nijdam, S. (Afstudeerdocent 2), 2015Scriptie/Masterproef: Bachelor
Bestand