• 1942 Citaties
20032014

Onderzoeksresultaten per jaar

Als u wijzigingen in Pure hebt gemaakt, zullen deze hier binnenkort zichtbaar zijn.

Onderzoeksoutput

Filter
Conferentiebijdrage
2010

3D-integrated all-solid-state capacitors

Roozeboom, F., Langereis, E., Leick, N., Sanden, van de, M. C. M., Kessels, W. M. M., Klootwijk, J. H., Dekkers, W., Tois, E., Tuominen, M., Lamy, Y., Jinesh, K. B., Besling, W. F. A., Roest, A. & Bunel, C., 2010, Invited presentation at Symposium FD on ‘Electrochemical Energy Storage Systems: the Next Evolution’ of the Forum on New Materials, Montcatini Terme, June 13-18, 2010. blz. FD-2:IL05-

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

1 Downloads (Pure)

Growth and material properties of nanometer ruthenium films deposited by atomic layer deposition

Leick, N., Verkuijlen, R. O. F., Langereis, E., Roozeboom, F. & Sanden, van de, M. C. M., 2010, Physics@FOM Veldhoven, 19-20 January 2010, Veldhoven, The Netherlands. Graef, de, M., Zegers, G., Min, E. & Pavert, van de, F. (redactie). Utrecht: Stichting FOM, blz. P05.67-204

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Real time optical probes of ALD and CVD thin films for c-Si photovoltaics

Kessels, W. M. M., Terlinden, N. M., Gielis, J. J. H., Langereis, E. & Sanden, van de, M. C. M., 2010, Proceedings of the 5th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE-V), 23-28 May 2010, Albany, NY, USA. Albany, NY, USA

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

2009

In situ spectroscopic ellipsometry for atomic layer deposition

Langereis, E., Heil, S. B. S., Knoops, H. C. M., Keuning, W., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2009, SVC 52nd Annual Technical Conference, Santa Clara Convention Center, Santa Clara, CA, May 9-14, 2009. Santa Clara, CA, USA, blz. 61-66 (Society of Vacuum Coaters. Annual Technical Conference Proceedings ; vol. 505).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

1 Downloads (Pure)

Low temperature plasma-enhanced atomic layer deposition of metal oxide thin films

Potts, S. E., van den Elzen, L. R. J. G., Dingemans, G., Langereis, E., Keuning, W., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2009, Atomic layer deposition applications 5 : Proceedings of the 5th Symposium on Atomic Layer Deposition as part of the 216th Meeting of the Electrochemical Society 5 -7 October 2009, Vienna. Pennington, NJ: Electrochemical Socity, blz. 233-242 (ECS Transactions; vol. 25).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

OLED Encapsulation by Room Temperature Plasma-Assisted ALD Al2O3 Films

Keuning, W., Creatore, M., Langereis, E., Lifka, H., Weijer, van de, P. & Sanden, van de, M. C. M., 2009, Proceedings of the 56th international American Vacuum Society Symposium & Exhibition (AVS 56) 8-13 November 2009, San Jose, California. New York, NY: AVS, blz. TF2-TuM11-64

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Open Access
Bestand
117 Downloads (Pure)

Thermal and Remote Plasma ALD of Ru from CpRu(CO)2Et and O2

Leick, N., Verkuijlen, R. O. F., Langereis, E., Rushworth, S. A., Roozeboom, F., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2009, Proceedings of the 56th international American Vacuum Society Symposium & Exhibition (AVS 56) 8-13 November 2009, San Jose, California. New York, NY: AVS, blz. TF2-MoM1-20

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Open Access
Bestand
53 Downloads (Pure)
2008

Optical emission spectroscopy as a tool for studying, optimizing, and monitoring layer deposition processes

Mackus, A. J. M., Heil, S. B. S., Langereis, E., Knoops, H. C. M., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2008, Proceedings of the 8th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2008), June 29 - July 2008, Bruges, Belgium (Book of Abstracts). Kessels, W. M. M. & Delabie, A. (redactie). S.n.: s.n., blz. P-76-

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Downloads (Pure)

Plasma-assisted ALD of Al2O3 at low temperatures : reaction mechanism and material properties

Langereis, E., Bouman, M., Keijmel, J., Heil, S. B. S., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2008, Atomic Layer Deposition Applications 4 - 214th ECS Meeting; Honolulu, HI; 13 October 2008 through 15 October 2008. blz. 247-255 (ECS Transactions; vol. 16).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

14 Citaten (Scopus)

Polymer-Led encapsulation by means of plasma-assisted ALD AI2O3 films

Creatore, M., Keuning, W., Langereis, E., Lifka, H., Weijer, van de, P., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2008, Proceedings of the 8th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2008), June 29 - July 2008, Bruges, Belgium (Book of Abstracts). Kessels, W. M. M. & Delabie, A. (redactie). S.n.: s.n., blz. WedA2b-2-

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Remote plasma ALD of amorphous and anatase TiO2 studied by in-situ spectroscopic ellipsometry

Keuning, W., Langereis, E., Hemmen, van, J. L., Muraza, O., Rebrov, E., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2008, Proceedings of the 8th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2008), June 29 - July 2008, Bruges, Belgium (Book of Abstracts). Kessels, W. M. M. & Delabie, A. (redactie). S.n.: s.n., blz. P-87-

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

4 Downloads (Pure)

Surface chemistry of plasma assisted ALD of AI2O3 at low deposition temperatures

Langereis, E., Keijmel, J., Bouman, M., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2008, Proceedings of the 8th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2008), June 29 - July 2008, Bruges, Belgium (Book of Abstracts). Kessels, W. M. M. & Delabie, A. (redactie). S.n.: s.n., blz. MonM2-3-

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Transmission infrared spectroscopy to measure surface groups and reaction by-products during ALD

Bouman, M., Langereis, E., Keijmel, J., Kessels, W. M. M., Lee, I. & Zaera, F., 2008, Proceedings of the 8th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2008), June 29 - July 2008, Bruges, Belgium (Book of Abstracts). Kessels, W. M. M. & Delabie, A. (redactie). S.n.: s.n., blz. P-104-

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

2007

Deposition of TiN and TaN by remote plasma ALD for diffusion barrier applications

Knoops, H. C. M., Baggetto, L., Langereis, E., Sanden, van de, M. C. M., Klootwijk, J. H., Roozeboom, F., Niessen, R. A. H., Notten, P. H. L. & Kessels, W. M. M., 2007, Proceedings of the 3th symposium on Atomic Layer Deposition Applications as part of the 212th ECS Meeting, 8-9 October 2007, Washington D.C., USA. Londergan, A., Straten, van der, O., Bent, S. F., Elam, J. W., Gendt, de, S. & Kang, S. B. (redactie). Pennington, New Jersey, USA: Electrochemical Society, blz. 45-54 (ECS Transactions; vol. 11).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

4 Citaten (Scopus)

On the film microstructure control by means of PE-CVD and PA-ALD

Creatore, M., Langereis, E., Terlinden, N. M., Hemmen, van, J. L., Kessels, W. M. M. & Sanden, van de, M. C. M., 2007, Proceedings of the 18th international symposium on plasma chemistry (ISPC 18) 26-31 August 2007, Kyoto, Japan. Tachibana, K., Takai, O., Ono, K. & Shirafuji, T. (redactie). Kyoto, Japan: Kyoto University, blz. 27A-P3-1/4

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Open Access
Bestand
63 Downloads (Pure)

On the film microstructure control by means of PE-CVD and PA-ALD

Creatore, M., Langereis, E., Terlinden, N. M., Hemmen, van, J. L., Kessels, W. M. M. & Sanden, van de, M. C. M., 2007, Proceedings of the 50th Society of Vacuum Coaters Conference (SVC) and 50th Annual Technical Conference, 28 April - 3 May 2007, Louisville, Kentucky, USA. Albuquerque, NM, U.S.A.: Society of Vacuum Coaters

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

2006

Plasma-assisted atomic layer deposition of Al-2O3 on polymers

Langereis, E., Heil, S. B. S., Creatore, M., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2006, Proceedings 49th Annual Technical Conference of Vacuum Coaters, Washington DC, USA. blz. 151-

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

3 Downloads (Pure)

Plasma-assisted growth of moisture diffusion barrier films on polymers : from chemical vapour deposition to atomic layer deposition

Creatore, M., Langereis, E., Heil, S. B. S., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2006, Proceedings of the 10th International Conference on Plasma Surface Engineering : Conference and Exhibition (PSE 2006), September 10-15, 2006, Garmisch-Partenkirchen, Germany (Abstracts). S.l.: s.n., blz. 37-37

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

2005

Plasma-assisted atomic layer deposition of TiN films at low deposition temperature for high-aspect ratio applications

Heil, S. B. S., Langereis, E., Roozeboom, F., Kemmeren, A., Pham, N. P., Sarro, P. M., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2005, Materials, technology and reliability for advanced interconnects - 2005 : symposium held March 28 - April 1 2005, San Francisco, California, U.S.A.. Besser, R. (redactie). Warrendale, Pa: Materials Research Society, blz. 215-220 (Materials Research Society Symposium Proceedings; vol. 863).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

2004

New ultrahigh vacuum setup and advanced diagnostic techniques for studying a-Si:H film growth by radical beams

Hoefnagels, J. P. M., Langereis, E., van de Sanden, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 1 dec 2004, Amorphous and nanocrystalline silicon science and technology, 2004, symposium held April 13-16, 2004, San Francisco. Ganguly, G., Kondo, M. & Schiff, E. A. (redactie). Warrendale, Pa: Materials Research Society, blz. 257-262 6 blz. A9.24. (Materials Research Society Symposium Proceedings; vol. 808).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Open Access
Bestand
3 Citaten (Scopus)
59 Downloads (Pure)

Substrate temperature dependence of the roughness evolution of HWCVD a-Si:H studied by real-time spectroscopic ellipsometry

Hoefnagels, J. P. M., Langereis, E., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2004, 3rd international conference on hot-wire CVD (Cat-CVD) process : August 23-27, 2004, Utrecht, The Netherlands : extended abstracts. S.n.: s.n., blz. 41-44

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Downloads (Pure)
2003

New surface diagnostics for in situ detection of hydrogen and dangling bonds on plasma deposited silicon films

Kessels, W. M. M., Aarts, I. M. P., Hoefnagels, J. P. M., Oever, van den, P. J., Hoex, B., Gielis, J. J. H., Langereis, E., Engeln, R. A. H. & Sanden, van de, M. C. M., 2003, Frontiers in low temperature plasma diagnostics V : Villaggio Cardigliano Specchia (LE) - Italy, April 3-7, 2003 : papers. blz. 40-49

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic