• Bron: Scopus
20172020

Onderzoeksresultaten per jaar

Als u wijzigingen in Pure hebt gemaakt, zullen deze hier binnenkort zichtbaar zijn.

Persoonlijk profiel

Research profile

David van den Hurk was born on November 8th 1988 in Oss, The Netherlands. He received his B.Eng degree in Mechatronics, from Fontys University of Applied Sciences in June 2013. Here his thesis was on the application of self-sensing piezo actuators in lithography equipment. In June 2016 he received his MSc. Degree in Systems and Control (with great appreciation), from Eindhoven University of Technology, where his graduation thesis was titled: “Calibration and Validation of a Multiphysics Mirror Heating Model in EUV Lithography”.  Currently, he is a PhD candidate at the Control Systems group on the subject “Active Wafer Table Curvature Control for EUV Lithography” under the supervision of prof. dr. S. Weiland. The research is carried out in cooperation with ASML.  

Vingerafdruk

Verdiep u in de onderzoeksgebieden waarop David P.M. van den Hurk actief is. Deze onderwerplabels komen uit het werk van deze persoon. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Netwerk

Recente externe samenwerking op landenniveau. Duik in de details door op de stippen te klikken.
Als u wijzigingen in Pure hebt gemaakt, zullen deze hier binnenkort zichtbaar zijn.