Als u wijzigingen in Pure hebt gemaakt, zullen deze hier binnenkort zichtbaar zijn.

Onderzoeksoutput 2007 2020

Filter
Tijdschriftartikel
2020

Mechanism of precursor blocking by acetylacetone inhibitor molecules during area-selective atomic layer deposition of SiO2

Merkx, M. J. M., Sandoval, T. E., Hausmann, D. M., Kessels, W. M. M. E. & Mackus, A. J. M., 12 feb 2020, (Geaccepteerd/In druk) In : Chemistry of Materials.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Atomic layer deposition
Molecules
Silanes
Adsorbates
Density functional theory
2019
4 Citaties (Scopus)
34 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition of ZnO by area activation using electron beam-induced deposition

Mameli, A., Karasulu, B., Verheijen, M., Barcones Campo, B., Macco, B., Mackus, A., Kessels, E. & Roozeboom, F., 26 feb 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 4, blz. 1250-1257 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
Atomic layer deposition
Electron beams
Chemical activation
Density functional theory
Temperature
1 Citaat (Scopus)
57 Downloads (Pure)

Area-selective deposition of Ruthenium by combining atomic layer deposition and selective etching

Vos, M. F. J., Chopra, S. N., Verheijen, M. A., Ekerdt, J. G., Agarwal, S., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 22 mei 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 11, blz. 3878-3882 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
20 Citaties (Scopus)
232 Downloads (Pure)

From the bottom-up: toward area-selective atomic layer deposition with high selectivity

Mackus, A. J. M., Merkx, M. J. M. & Kessels, W. M. M., 8 jan 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 1, blz. 2-12 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
Atomic layer deposition
Level control
Processing
Nanotechnology
Etching
15 Citaties (Scopus)
2 Downloads (Pure)

Synthesis of doped, ternary, and quaternary materials by atomic layer deposition: a review

Mackus, A., Schneider, J. R., MacIsaac, C., Baker, J. G. & Bent, S. F., 26 feb 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 4, blz. 1142-1183 42 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Atomic layer deposition
Nucleation
Thin films
Nanoelectronics
Oxides
2018
27 Citaties (Scopus)
149 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition of metal oxides on noble metals through catalytic oxygen activation

Singh, J. J., Thissen, N. F. W., Kim, W-H., Johnson, H., Kessels, W. M. M., Bol, A. A., Bent, S. F. & Mackus, A. J. M., 2018, In : Chemistry of Materials. 30, 3, blz. 663–670 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
Atomic layer deposition
Precious metals
Oxides
Metals
Chemical activation
9 Citaties (Scopus)
133 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of cobalt using H2-, N2-, and NH3-based plasmas: on the role of the Co-reactant

Vos, M. F. J., van Straaten, G., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 5 sep 2018, In : Journal of Physical Chemistry C. 122, 39, blz. 22519-22529 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
Atomic layer deposition
atomic layer epitaxy
Cobalt
cobalt
Plasmas
2 Citaties (Scopus)
83 Downloads (Pure)

Isotropic atomic layer etching of ZnO using Acetylacetone and O2 plasma

Mameli, A., Verheijen, M. A., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Roozeboom, F., 7 nov 2018, In : ACS Applied Materials & Interfaces. 10, 44, blz. 38588-38595 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
Etching
Plasmas
Nanowires
acetylacetone
Spectroscopic ellipsometry
2017
18 Citaties (Scopus)
91 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition of ln2O3:H using a µ-plasma printer for local area activation

Mameli, A., Kuang, Y., Aghaee, M., Ande, C. K., Karasulu, B., Creatore, M., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Roozeboom, F., 2017, In : Chemistry of Materials. 29, 3, blz. 921-925

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
29 Citaties (Scopus)
224 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition of SiO2 using acetylacetone as a chemoselective inhibitor in an ABC-type cycle

Mameli, A., Merkx, M. J. M., Karasulu, B., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M. & MacKus, A. J. M., 26 sep 2017, In : ACS Nano. 11, 9, blz. 9303-9311 9 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
acetylacetone
Atomic layer deposition
atomic layer epitaxy
inhibitors
cycles
5 Citaties (Scopus)
118 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of aluminum fluoride using Al(CH3)3 and SF6 plasma

Vos, M. F. J., Knoops, H. C. M., Synowicki, R. A., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 11 sep 2017, In : Applied Physics Letters. 111, 11, 5 blz., 113105.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
aluminum fluorides
atomic layer epitaxy
metal fluorides
refractivity
cycles
10 Citaties (Scopus)
127 Downloads (Pure)

Graphene devices with bottom-up contacts by area-selective atomic layer deposition

Thissen, N. F. W., Vervuurt, R. H. J., Mackus, A. J. M., Mulders, J. J. L., Weber, J-W., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 1 jun 2017, In : 2D Materials. 4, 2, 9 blz., 025046.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
Graphite
Atomic layer deposition
atomic layer epitaxy
Graphene
graphene
26 Citaties (Scopus)
50 Downloads (Pure)

Incomplete elimination of precursor ligands during atomic layer deposition of zinc-oxide, tin-oxide, and zinc-tin-oxide

Mackus, A. J. M., MacIsaac, C., Kim, W-H. & Bent, S. F., 7 feb 2017, In : Journal of Chemical Physics. 146, 5, 11 blz., 052802.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
Zinc Oxide
Atomic layer deposition
atomic layer epitaxy
Zinc oxide
zinc oxides
5 Citaties (Scopus)
85 Downloads (Pure)

Resist-free fabricated carbon nanotube field-effect transistors with high-quality atomic-layer-deposited platinum contacts

Mackus, A. J. M., Thissen, N. F. W., Mulders, J. J. L., Trompenaars, P. H. F., Chen, Z., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 4 jan 2017, In : Applied Physics Letters. 110, 1, blz. 1-5 5 blz., 013101.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
platinum
field effect transistors
carbon nanotubes
atomic layer epitaxy
transistors
2016
33 Citaties (Scopus)

A process for topographically selective deposition on 3D nanostructures by ion implantation

Kim, W-H., Hashemi, F. S. M., Mackus, A. J. M., Singh, J., Yeongin, K., Bobb-Semple, D., Fan, Y., Kaufman-Osborn, T., Godet, L. & Bent, S. F., 7 mrt 2016, In : ACS Nano. 10, 4, blz. 4451-4458 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Ion implantation
ion implantation
Nanostructures
blankets
fluorocarbons
43 Citaties (Scopus)
15 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of Pd and Pt nanoparticles for catalysis: on the mechanisms of nanoparticle formation

Mackus, A. J. M., Weber, M. J., Thissen, N. F. W., Garcia-Alonso Garcia, D., Vervuurt, R. H. J., Assali, S., Bol, A. A., Verheijen, M. A. & Kessels, W. M. M., 2016, In : Nanotechnology. 27, 3, blz. 1-13 13 blz., 034001.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

10 Citaties (Scopus)
190 Downloads (Pure)

Growth, intermixing, and surface phase formation for zinc tin oxide nanolaminates produced by atomic layer deposition

Hägglund, C., Grehl, T., Tanskanen, J. T., Yee, Y. S., Mullings, M. N., Mackus, A. J. M., MacIsaac, C., Clemens, B. M., Brongersma, H. H. & Bent, S. F., 8 feb 2016, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 34, 2, 8 blz., 021516.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
Atomic layer deposition
atomic layer epitaxy
Zinc oxide
Tin oxides
zinc oxides
13 Citaties (Scopus)
8 Downloads (Pure)

In situ spectroscopic ellipsometry during atomic layer deposition of Pt, Ru and Pd

Leick, N., Weber, J. W., Mackus, A. J. M., Weber, M. J., van de Sanden, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 17 feb 2016, In : Journal of Physics D: Applied Physics. 49, 12, 12 blz., 115504.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Spectroscopic ellipsometry
Atomic layer deposition
atomic layer epitaxy
ellipsometry
Metals
55 Citaties (Scopus)

Tandem core-shell Si-Ta3-N5 photoanodes for photoelectrochemical water splitting

Narkeviciute, I., Chakthranont, P., Mackus, A. J. M., Hahn, C., Pinaud, B. A., Bent, S. F. & Jaramillo, T. F., 22 nov 2016, In : Nano Letters. 16, 12, blz. 7565-7572 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

water splitting
Photocurrents
photocurrents
Water
Chronoamperometry
2014
21 Citaties (Scopus)
9 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of highly transparent platinum counter electrodes for metal/polymer flexible dye-sensitized solar cells

Garcia - Alonso, D., Zardetto, V., Mackus, A. J. M., Rossi, De, F., Verheijen, M. A., Brown, T. M., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 2014, In : Advanced Energy Materials. 4, 4, blz. 1300831-1/8 8 blz., 1300831.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Atomic layer deposition
Platinum
Polymers
Metals
Electrodes
36 Citaties (Scopus)
3 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of high-purity palladium films from Pd(hfac)2 and H2 and O2 plasmas

Weber, M. J., Mackus, A. J. M., Verheijen, M. A., Longo, V., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2014, In : Journal of Physical Chemistry C. 118, 6, blz. 8702-8711 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Atomic layer deposition
Palladium
atomic layer epitaxy
palladium
purity
138 Citaties (Scopus)
9 Downloads (Pure)

The use of atomic layer deposition in advanced nanopattering

Mackus, A. J. M., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2014, In : Nanoscale. 6, 19, blz. 10941-10960 20 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Atomic layer deposition
Level control
Microelectronics
Lithography
Block copolymers
2013
2 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of nanomaterials for Li-ion batteries, fuel cells, and solar cells

Kessels, W. M. M., Knoops, H. C. M., Weber, M. J., Mackus, A. J. M. & Creatore, M., 2013, In : Material Matters. 8, 4, blz. 117-117 1 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelPopulair

7 Citaties (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Catalytic combustion reactions during atomic layer deposition of Ru studied using 18O2 isotope labeling

Leick, N., Agarwal, S., Mackus, A. J. M., Potts, S. E. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Journal of Physical Chemistry C. 117, 41, blz. 21320-21330 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Atomic layer deposition
atomic layer epitaxy
Isotopes
Labeling
marking
36 Citaties (Scopus)
5 Downloads (Pure)

Direct-wire atomic layer deposition of high-quality Pt nanostructures : selective growth conditions and seed layer requirements

Mackus, A. J. M., Thissen, N. F. W., Mulders, J. J. L., Trompenaars, P. H. F., Verheijen, M. A., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Journal of Physical Chemistry C. 117, 20, blz. 10788-10798 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Atomic layer deposition
atomic layer epitaxy
Seed
seeds
Nanostructures
70 Citaties (Scopus)
2 Downloads (Pure)
Atomic layer deposition
Film growth
Platinum
Nucleation
Oxygen
2 Downloads (Pure)

Nanofabricage van koolstofnanobuistransistors met atoomlaagdepositie

Thissen, N. F. W., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 2013, In : Nevac Blad. 51, 3, blz. 10-

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

45 Citaties (Scopus)
4 Downloads (Pure)

Room-temperature atomic layer deposition of platinum

Mackus, A. J. M., Garcia-Alonso Garcia, D., Knoops, H. C. M., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Chemistry of Materials. 25, 9, blz. 1769-1774 6 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Atomic layer deposition
Platinum
Plasmas
Substrates
Temperature
2012
79 Citaties (Scopus)
7 Downloads (Pure)

Catalytic combustion and dehydrogenation reactions during atomic layer deposition of platinum

Mackus, A. J. M., Leick, N., Baker, L. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Chemistry of Materials. 24, 10, blz. 1752-1761

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Atomic layer deposition
Dehydrogenation
Platinum
Surface reactions
Precious metals
19 Citaties (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Dehydrogenation reactions during atomic layer deposition of Ru using O2

Leick, N., Agarwal, S., Mackus, A. J. M. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Chemistry of Materials. 24, blz. 3696-3700

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Atomic layer deposition
Surface reactions
Dehydrogenation
Carbon Monoxide
Reaction products

Jaarringen

Mackus, A. J. M., Garcia-Alonso Garcia, D. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Nederlands Tijdschrift voor Natuurkunde. 78, 8, blz. 379-379

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

25 Citaties (Scopus)
120 Downloads (Pure)

Mass spectrometry study of the temperature dependence of Pt film growth by atomic layer deposition

Erkens, I. J. M., Mackus, A. J. M., Knoops, H. C. M., Smits, P., Ven, van de, T. H. M., Roozeboom, F. & Kessels, W. M. M., 2012, In : ECS Journal of Solid State Science and Technology. 1, 6, blz. 255-262 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
Atomic layer deposition
Film growth
Mass spectrometry
Hydrogenation
Ligands
1 Downloads (Pure)

Nanocontacten schrijven met atoomlaagdepositie

Mackus, A. J. M., Dielissen, S. A. F., Mulders, J. J. L. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Nederlands Tijdschrift voor Natuurkunde. 78, 7, blz. 290-293 4 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

43 Citaties (Scopus)
5 Downloads (Pure)

Nanopattering by direct-write atomic layer deposition

Mackus, A. J. M., Dielissen, S. A. F., Mulders, J. J. L. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Special Publication - Royal Society of Chemistry. 4, 15, blz. 4477-4480 4 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

atomic layer epitaxy
compatibility
seeds
lithography
electron beams

Plaatsopgeloste depositie van Pt nanostructuren door het combineren van elektronenbundel geïnduceerde depositie en atoomlaagdepositie

Dielissen, S. A. F., Mackus, A. J. M., Mulders, J. J. L. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Nevac Blad. 50, 2, blz. 7-9

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelPopulair

108 Citaties (Scopus)
2 Downloads (Pure)

Supported core/shell bimetallic nanoparticles synthesis by atomic layer deposition

Weber, M. J., Mackus, A. J. M., Verheijen, M. A., Marel, van der, C. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Chemistry of Materials. 24, 15, blz. 2973-2977 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Atomic layer deposition
Precious metals
Nanoparticles
Catalyst supports
Nanostructured materials
2011
75 Citaties (Scopus)
334 Downloads (Pure)

Nucleation and growth of Pt atomic layer deposition on Al2O3 substrates using (methylcyclopentadienyl)-trimethyl platinum and O2 plasma

Baker, L., Cavanagh, A. S., Seghete, D., George, S. M., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M., Liu, Z. Y. & Wagner, F. T., 2011, In : Journal of Applied Physics. 109, 8, blz. 084333-1/10 10 blz., 084333.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
atomic layer epitaxy
platinum
nucleation
cycles
scanning electron microscopy
4 Downloads (Pure)

Selective in-situ atomic layer deposition on structures created with EBID

Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Mulders, J. J. L., 2011, In : Microscopy and Analysis. 25, 4, blz. 5-8

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

atomic layer epitaxy
electron beams
seeds
platinum
injectors
2010
57 Citaties (Scopus)
130 Downloads (Pure)

Local deposition of high-purity Pt nanostructures by combining electron beam induced deposition and atomic layer deposition

Mackus, A. J. M., Mulders, J. J. L., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2010, In : Journal of Applied Physics. 107, 11, blz. 116102-1/3 3 blz., 116102.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
atomic layer epitaxy
purity
electron beams
platinum
fabrication
40 Citaties (Scopus)
844 Downloads (Pure)
Open Access
Bestand
Optical emission spectroscopy
Atomic layer deposition
optical emission spectroscopy
atomic layer epitaxy
Plasmas
2009
90 Citaties (Scopus)
264 Downloads (Pure)

Remote plasma ALD of platinum and platinum oxide films

Knoops, H. C. M., Mackus, A. J. M., Donders, M. E., Sanden, van de, M. C. M., Notten, P. H. L. & Kessels, W. M. M., 2009, In : Electrochemical and Solid-State Letters. 12, 7, blz. G34-G36

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
platinum oxides
Plasma deposition
Atomic layer deposition
atomic layer epitaxy
Platinum
96 Citaties (Scopus)
170 Downloads (Pure)

Surface reactions during atomic layer deposition of Pt derived from gas phase infrared spectroscopy

Kessels, W. M. M., Knoops, H. C. M., Dielissen, S. A. F., Mackus, A. J. M. & Sanden, van de, M. C. M., 2009, In : Applied Physics Letters. 95, 1, blz. 013114-1/3 013114.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
atomic layer epitaxy
surface reactions
infrared spectroscopy
vapor phases
ligands
2007
61 Citaties (Scopus)
133 Downloads (Pure)
Open Access
Bestand
atomic layer epitaxy
electrical resistivity
synthesis
ellipsometry
optical emission spectroscopy