Als u wijzigingen in Pure hebt gemaakt, zullen deze hier binnenkort zichtbaar zijn.

Onderzoeksoutput 2007 2020

Filter
Conferentiebijdrage
2018
2 Citaties (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Approaches and opportunities for area-selective atomic layer deposition

Mackus, A. J. M., 3 jul 2018, 2018 International Symposium on VLSI Technology, Systems and Application, VLSI-TSA 2018. Piscataway: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2 blz. 8403864

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Atomic layer deposition
atomic layer epitaxy
Fabrication
fabrication
Processing
1 Downloads (Pure)

Investigating the difference in nucleation during Si-based ALD on different surfaces for future area-selective deposition

Filatova, E. A., Mameli, A., Mackus, A. J. M., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M., Hausmannd, D. & Elliott, S. D., 2018, 2018 IEEE 18th International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO). Piscataway: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2 blz. 8626336

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

2017
2 Citaties (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition: Role of surface chemistry

Mameli, A., Karasulu, B., Verheijen, M. A., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Roozeboom, F., 1 jan 2017, ECS Transactions. 3 redactie Electrochemical Society, Inc., Vol. 80. blz. 39-48 10 blz. (ECS Transactions).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

2013
3 Citaties (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Catalytic surface reactions during nucleation and growth of atomic layer deposition of noble metals : a case study for platinum

Mackus, A. J. M., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2013, Atomic Layer Deposition Applications 9. Roozeboom, F. & Delabie, A. (redactie). Pennington, NJ, USA: The Electrochemical Society, blz. 183-193 (ECS Transactions; vol. 58).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Atomic layer deposition
Surface reactions
Precious metals
Platinum
Nucleation
2010
3 Downloads (Pure)

Local deposition of high-purity Pt nanostructures by combining Electron Beam Induced Deposition (EBID) and Atomic Layer Deposition (ALD)

Mackus, A. J. M., Mulders, J. J. L., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2010, Physics@FOM Veldhoven, 19-20 January 2010, Veldhoven, The Netherlands. Graef, de, M., Zegers, G., Min, E. & Pavert, van de, F. (redactie). Utrecht: Stichting FOM, blz. P03.57-162

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

atomic layer epitaxy
purity
electron beams
2009
34 Downloads (Pure)

Direct Local Deposition of High-Purity Pt Nanostructures by Combining EBID and ALD

Mackus, A. J. M., Mulders, H. J. J. L., Sanden, van de, M. C. M., Jong, de, A. F. & Kessels, W. M. M., 2009, Proceedings of the 56th international American Vacuum Society Symposium & Exhibition (AVS 56) 8-13 November 2009, San Jose, California. New York, NY: AVS, blz. SS1+PS+TF+AS+NS-TuA8-79

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Open Access
Bestand
atomic layer epitaxy
purity
electron beams
electrical resistivity
seeds
2008
1 Downloads (Pure)

Optical emission spectroscopy as a tool for studying, optimizing, and monitoring layer deposition processes

Mackus, A. J. M., Heil, S. B. S., Langereis, E., Knoops, H. C. M., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2008, Proceedings of the 8th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2008), June 29 - July 2008, Bruges, Belgium (Book of Abstracts). Kessels, W. M. M. & Delabie, A. (redactie). S.n.: s.n., blz. P-76-

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

11 Citaties (Scopus)
6 Downloads (Pure)

Remote plasma and thermal ALD of platinum and platinum oxide films

Knoops, H. C. M., Mackus, A. J. M., Donders, M. E., Sanden, van de, M. C. M., Notten, P. H. L. & Kessels, W. M. M., 2008, Atomic layer deposition applications ; 4 : 214th ECS meeting, Honolulu,HI, October 12-17 2008. Londergan, A. & De Gendt, S. (redactie). Pennington, NJ, USA: The Electrochemical Society, blz. 209-218 (ECS Transactions; vol. 16).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

platinum oxides
oxide films
platinum
thermal plasmas
temperature