• 1612 Citaties
20072020

Onderzoeksresultaten per jaar

Als u wijzigingen in Pure hebt gemaakt, zullen deze hier binnenkort zichtbaar zijn.

Begeleid werk

2019

Development and understanding of advanced atomic layer deposition processes: AlF3, Co, and Ru

Vos, M. F. J., 21 nov 2019, Eindhoven: Technische Universiteit Eindhoven. 207 blz.

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

6 Downloads (Pure)
2018

Selective atomic layer deposition and etching of oxides

Mameli, A., 5 jul 2018, Eindhoven: Technische Universiteit Eindhoven. 171 blz.

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

Open Access
Bestand
437 Downloads (Pure)