• 1439 Citaties
20072020

Research output per year

Als u wijzigingen in Pure hebt gemaakt, zullen deze hier binnenkort zichtbaar zijn.

Onderzoeksoutput

Filter
Tijdschriftartikel
2020

Mechanism of precursor blocking by acetylacetone inhibitor molecules during area-selective atomic layer deposition of SiO2

Merkx, M. J. M., Sandoval, T. E., Hausmann, D. M., Kessels, W. M. M. E. & Mackus, A. J. M., 12 feb 2020, (Geaccepteerd/In druk) In : Chemistry of Materials.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Synthesis of a hybrid nanostructure of ZnO-decorated MoS2 by atomic layer deposition

Oh, I. K., Kim, W. H., Zeng, L., Singh, J., Bae, D., Mackus, A. J. M., Song, J. G., Seo, S., Shong, B., Kim, H. & Bent, S. F., 25 feb 2020, In : ACS Nano. 14, 2, blz. 1757-1769 13 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

2019

Area-selective atomic layer deposition of ZnO by area activation using electron beam-induced deposition

Mameli, A., Karasulu, B., Verheijen, M., Barcones Campo, B., Macco, B., Mackus, A., Kessels, E. & Roozeboom, F., 26 feb 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 4, blz. 1250-1257 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
7 Citaten (Scopus)
41 Downloads (Pure)

Area-selective deposition of Ruthenium by combining atomic layer deposition and selective etching

Vos, M. F. J., Chopra, S. N., Verheijen, M. A., Ekerdt, J. G., Agarwal, S., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 22 mei 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 11, blz. 3878-3882 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
4 Citaten (Scopus)
73 Downloads (Pure)

From the bottom-up: toward area-selective atomic layer deposition with high selectivity

Mackus, A. J. M., Merkx, M. J. M. & Kessels, W. M. M., 8 jan 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 1, blz. 2-12 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
23 Citaten (Scopus)
266 Downloads (Pure)

Synthesis of doped, ternary, and quaternary materials by atomic layer deposition: a review

Mackus, A., Schneider, J. R., MacIsaac, C., Baker, J. G. & Bent, S. F., 26 feb 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 4, blz. 1142-1183 42 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

18 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)
2018

Area-selective atomic layer deposition of metal oxides on noble metals through catalytic oxygen activation

Singh, J. J., Thissen, N. F. W., Kim, W-H., Johnson, H., Kessels, W. M. M., Bol, A. A., Bent, S. F. & Mackus, A. J. M., 13 feb 2018, In : Chemistry of Materials. 30, 3, blz. 663–670 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
28 Citaten (Scopus)
151 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of cobalt using H2-, N2-, and NH3-based plasmas: on the role of the Co-reactant

Vos, M. F. J., van Straaten, G., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 4 okt 2018, In : Journal of Physical Chemistry C. 122, 39, blz. 22519-22529 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
10 Citaten (Scopus)
142 Downloads (Pure)

Isotropic atomic layer etching of ZnO using Acetylacetone and O2 plasma

Mameli, A., Verheijen, M. A., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Roozeboom, F., 7 nov 2018, In : ACS Applied Materials & Interfaces. 10, 44, blz. 38588-38595 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
3 Citaten (Scopus)
86 Downloads (Pure)
2017

Area-selective atomic layer deposition of In 2O 3:H Using a μ-plasma printer for local area activation

Mameli, A., Kuang, Y., Aghaee, M., Ande, C. K., Karasulu, B., Creatore, M., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Roozeboom, F., 14 feb 2017, In : Chemistry of Materials. 29, 3, blz. 921-925 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
22 Citaten (Scopus)
95 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition of SiO2 using acetylacetone as a chemoselective inhibitor in an ABC-type cycle

Mameli, A., Merkx, M. J. M., Karasulu, B., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M. & MacKus, A. J. M., 26 sep 2017, In : ACS Nano. 11, 9, blz. 9303-9311 9 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
33 Citaten (Scopus)
225 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of aluminum fluoride using Al(CH3)3 and SF6 plasma

Vos, M. F. J., Knoops, H. C. M., Synowicki, R. A., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 11 sep 2017, In : Applied Physics Letters. 111, 11, 5 blz., 113105.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
5 Citaten (Scopus)
134 Downloads (Pure)

Graphene devices with bottom-up contacts by area-selective atomic layer deposition

Thissen, N. F. W., Vervuurt, R. H. J., Mackus, A. J. M., Mulders, J. J. L., Weber, J-W., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 1 jun 2017, In : 2D Materials. 4, 2, 9 blz., 025046.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
10 Citaten (Scopus)
135 Downloads (Pure)

Incomplete elimination of precursor ligands during atomic layer deposition of zinc-oxide, tin-oxide, and zinc-tin-oxide

Mackus, A. J. M., MacIsaac, C., Kim, W-H. & Bent, S. F., 7 feb 2017, In : Journal of Chemical Physics. 146, 5, 11 blz., 052802.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
28 Citaten (Scopus)
53 Downloads (Pure)

Resist-free fabricated carbon nanotube field-effect transistors with high-quality atomic-layer-deposited platinum contacts

Mackus, A. J. M., Thissen, N. F. W., Mulders, J. J. L., Trompenaars, P. H. F., Chen, Z., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 4 jan 2017, In : Applied Physics Letters. 110, 1, blz. 1-5 5 blz., 013101.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
5 Citaten (Scopus)
89 Downloads (Pure)
2016

A process for topographically selective deposition on 3D nanostructures by ion implantation

Kim, W-H., Hashemi, F. S. M., Mackus, A. J. M., Singh, J., Yeongin, K., Bobb-Semple, D., Fan, Y., Kaufman-Osborn, T., Godet, L. & Bent, S. F., 7 mrt 2016, In : ACS Nano. 10, 4, blz. 4451-4458 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

34 Citaten (Scopus)

Atomic layer deposition of Pd and Pt nanoparticles for catalysis: on the mechanisms of nanoparticle formation

Mackus, A. J. M., Weber, M. J., Thissen, N. F. W., Garcia-Alonso Garcia, D., Vervuurt, R. H. J., Assali, S., Bol, A. A., Verheijen, M. A. & Kessels, W. M. M., 2016, In : Nanotechnology. 27, 3, blz. 1-13 13 blz., 034001.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

45 Citaten (Scopus)
15 Downloads (Pure)

Growth, intermixing, and surface phase formation for zinc tin oxide nanolaminates produced by atomic layer deposition

Hägglund, C., Grehl, T., Tanskanen, J. T., Yee, Y. S., Mullings, M. N., Mackus, A. J. M., MacIsaac, C., Clemens, B. M., Brongersma, H. H. & Bent, S. F., 8 feb 2016, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 34, 2, 8 blz., 021516.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
10 Citaten (Scopus)
201 Downloads (Pure)

In situ spectroscopic ellipsometry during atomic layer deposition of Pt, Ru and Pd

Leick, N., Weber, J. W., Mackus, A. J. M., Weber, M. J., van de Sanden, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 17 feb 2016, In : Journal of Physics D: Applied Physics. 49, 12, 12 blz., 115504.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

14 Citaten (Scopus)
8 Downloads (Pure)

Tandem core-shell Si-Ta3-N5 photoanodes for photoelectrochemical water splitting

Narkeviciute, I., Chakthranont, P., Mackus, A. J. M., Hahn, C., Pinaud, B. A., Bent, S. F. & Jaramillo, T. F., 22 nov 2016, In : Nano Letters. 16, 12, blz. 7565-7572 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

57 Citaten (Scopus)
2014

Atomic layer deposition of highly transparent platinum counter electrodes for metal/polymer flexible dye-sensitized solar cells

Garcia - Alonso, D., Zardetto, V., Mackus, A. J. M., Rossi, De, F., Verheijen, M. A., Brown, T. M., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 2014, In : Advanced Energy Materials. 4, 4, blz. 1300831-1/8 8 blz., 1300831.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

21 Citaten (Scopus)
9 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of high-purity palladium films from Pd(hfac)2 and H2 and O2 plasmas

Weber, M. J., Mackus, A. J. M., Verheijen, M. A., Longo, V., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2014, In : Journal of Physical Chemistry C. 118, 6, blz. 8702-8711 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

36 Citaten (Scopus)
3 Downloads (Pure)

The use of atomic layer deposition in advanced nanopattering

Mackus, A. J. M., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2014, In : Nanoscale. 6, 19, blz. 10941-10960 20 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

146 Citaten (Scopus)
9 Downloads (Pure)
2013

Atomic layer deposition of nanomaterials for Li-ion batteries, fuel cells, and solar cells

Kessels, W. M. M., Knoops, H. C. M., Weber, M. J., Mackus, A. J. M. & Creatore, M., 2013, In : Material Matters. 8, 4, blz. 117-117 1 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelPopulair

2 Downloads (Pure)

Catalytic combustion reactions during atomic layer deposition of Ru studied using 18O2 isotope labeling

Leick, N., Agarwal, S., Mackus, A. J. M., Potts, S. E. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Journal of Physical Chemistry C. 117, 41, blz. 21320-21330 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

7 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Direct-wire atomic layer deposition of high-quality Pt nanostructures : selective growth conditions and seed layer requirements

Mackus, A. J. M., Thissen, N. F. W., Mulders, J. J. L., Trompenaars, P. H. F., Verheijen, M. A., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Journal of Physical Chemistry C. 117, 20, blz. 10788-10798 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

36 Citaten (Scopus)
5 Downloads (Pure)
72 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)

Nanofabricage van koolstofnanobuistransistors met atoomlaagdepositie

Thissen, N. F. W., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 2013, In : Nevac Blad. 51, 3, blz. 10-

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

2 Downloads (Pure)

Room-temperature atomic layer deposition of platinum

Mackus, A. J. M., Garcia-Alonso Garcia, D., Knoops, H. C. M., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Chemistry of Materials. 25, 9, blz. 1769-1774 6 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

45 Citaten (Scopus)
4 Downloads (Pure)
2012

Catalytic combustion and dehydrogenation reactions during atomic layer deposition of platinum

Mackus, A. J. M., Leick, N., Baker, L. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Chemistry of Materials. 24, 10, blz. 1752-1761

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

79 Citaten (Scopus)
7 Downloads (Pure)

Dehydrogenation reactions during atomic layer deposition of Ru using O2

Leick, N., Agarwal, S., Mackus, A. J. M. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Chemistry of Materials. 24, blz. 3696-3700

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

19 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Jaarringen

Mackus, A. J. M., Garcia-Alonso Garcia, D. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Nederlands Tijdschrift voor Natuurkunde. 78, 8, blz. 379-379

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

Mass spectrometry study of the temperature dependence of Pt film growth by atomic layer deposition

Erkens, I. J. M., Mackus, A. J. M., Knoops, H. C. M., Smits, P., Ven, van de, T. H. M., Roozeboom, F. & Kessels, W. M. M., 2012, In : ECS Journal of Solid State Science and Technology. 1, 6, blz. 255-262 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
25 Citaten (Scopus)
125 Downloads (Pure)

Nanocontacten schrijven met atoomlaagdepositie

Mackus, A. J. M., Dielissen, S. A. F., Mulders, J. J. L. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Nederlands Tijdschrift voor Natuurkunde. 78, 7, blz. 290-293 4 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

1 Downloads (Pure)

Nanopattering by direct-write atomic layer deposition

Mackus, A. J. M., Dielissen, S. A. F., Mulders, J. J. L. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Special Publication - Royal Society of Chemistry. 4, 15, blz. 4477-4480 4 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

44 Citaten (Scopus)
5 Downloads (Pure)

Plaatsopgeloste depositie van Pt nanostructuren door het combineren van elektronenbundel geïnduceerde depositie en atoomlaagdepositie

Dielissen, S. A. F., Mackus, A. J. M., Mulders, J. J. L. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Nevac Blad. 50, 2, blz. 7-9

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelPopulair

Supported core/shell bimetallic nanoparticles synthesis by atomic layer deposition

Weber, M. J., Mackus, A. J. M., Verheijen, M. A., Marel, van der, C. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Chemistry of Materials. 24, 15, blz. 2973-2977 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

110 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)
2011

Nucleation and growth of Pt atomic layer deposition on Al2O3 substrates using (methylcyclopentadienyl)-trimethyl platinum and O2 plasma

Baker, L., Cavanagh, A. S., Seghete, D., George, S. M., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M., Liu, Z. Y. & Wagner, F. T., 2011, In : Journal of Applied Physics. 109, 8, blz. 084333-1/10 10 blz., 084333.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
76 Citaten (Scopus)
342 Downloads (Pure)

Selective in-situ atomic layer deposition on structures created with EBID

Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Mulders, J. J. L., 2011, In : Microscopy and Analysis. 25, 4, blz. 5-8

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

4 Downloads (Pure)
2010

Local deposition of high-purity Pt nanostructures by combining electron beam induced deposition and atomic layer deposition

Mackus, A. J. M., Mulders, J. J. L., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2010, In : Journal of Applied Physics. 107, 11, blz. 116102-1/3 3 blz., 116102.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
57 Citaten (Scopus)
134 Downloads (Pure)
Open Access
Bestand
41 Citaten (Scopus)
874 Downloads (Pure)
2009

Remote plasma ALD of platinum and platinum oxide films

Knoops, H. C. M., Mackus, A. J. M., Donders, M. E., Sanden, van de, M. C. M., Notten, P. H. L. & Kessels, W. M. M., 2009, In : Electrochemical and Solid-State Letters. 12, 7, blz. G34-G36

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
91 Citaten (Scopus)
267 Downloads (Pure)

Surface reactions during atomic layer deposition of Pt derived from gas phase infrared spectroscopy

Kessels, W. M. M., Knoops, H. C. M., Dielissen, S. A. F., Mackus, A. J. M. & Sanden, van de, M. C. M., 2009, In : Applied Physics Letters. 95, 1, blz. 013114-1/3 013114.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
96 Citaten (Scopus)
180 Downloads (Pure)
2007
Open Access
Bestand
61 Citaten (Scopus)
136 Downloads (Pure)