• 1439 Citaties
20072020

Research output per year

Als u wijzigingen in Pure hebt gemaakt, zullen deze hier binnenkort zichtbaar zijn.

Onderzoeksoutput

Filter
Conferentiebijdrage
2018

Approaches and opportunities for area-selective atomic layer deposition

Mackus, A. J. M., 3 jul 2018, 2018 International Symposium on VLSI Technology, Systems and Application, VLSI-TSA 2018. Piscataway: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2 blz. 8403864

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Investigating the difference in nucleation during Si-based ALD on different surfaces for future area-selective deposition

Filatova, E. A., Mameli, A., Mackus, A. J. M., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M., Hausmannd, D. & Elliott, S. D., 2018, 2018 IEEE 18th International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO). Piscataway: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2 blz. 8626336

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Downloads (Pure)
2017

Area-selective atomic layer deposition: Role of surface chemistry

Mameli, A., Karasulu, B., Verheijen, M. A., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Roozeboom, F., 1 jan 2017, ECS Transactions. De Gendt, S., Dendooven, J., Roozeboom, F., Liu, C., Elam, J. W. & van der Straten, O. (redactie). 3 redactie Electrochemical Society, Inc., Vol. 80. blz. 39-48 10 blz. (ECS Transactions; vol. 80, nr. 3).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)
2013

Catalytic surface reactions during nucleation and growth of atomic layer deposition of noble metals : a case study for platinum

Mackus, A. J. M., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2013, Atomic Layer Deposition Applications 9. Roozeboom, F. & Delabie, A. (redactie). Pennington, NJ, USA: The Electrochemical Society, blz. 183-193 (ECS Transactions; vol. 58).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)
2010

Local deposition of high-purity Pt nanostructures by combining Electron Beam Induced Deposition (EBID) and Atomic Layer Deposition (ALD)

Mackus, A. J. M., Mulders, J. J. L., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2010, Physics@FOM Veldhoven, 19-20 January 2010, Veldhoven, The Netherlands. Graef, de, M., Zegers, G., Min, E. & Pavert, van de, F. (redactie). Utrecht: Stichting FOM, blz. P03.57-162

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

3 Downloads (Pure)
2009

Direct Local Deposition of High-Purity Pt Nanostructures by Combining EBID and ALD

Mackus, A. J. M., Mulders, H. J. J. L., Sanden, van de, M. C. M., Jong, de, A. F. & Kessels, W. M. M., 2009, Proceedings of the 56th international American Vacuum Society Symposium & Exhibition (AVS 56) 8-13 November 2009, San Jose, California. New York, NY: AVS, blz. SS1+PS+TF+AS+NS-TuA8-79

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Open Access
Bestand
35 Downloads (Pure)
2008

Optical emission spectroscopy as a tool for studying, optimizing, and monitoring layer deposition processes

Mackus, A. J. M., Heil, S. B. S., Langereis, E., Knoops, H. C. M., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2008, Proceedings of the 8th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2008), June 29 - July 2008, Bruges, Belgium (Book of Abstracts). Kessels, W. M. M. & Delabie, A. (redactie). S.n.: s.n., blz. P-76-

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Downloads (Pure)

Remote plasma and thermal ALD of platinum and platinum oxide films

Knoops, H. C. M., Mackus, A. J. M., Donders, M. E., Sanden, van de, M. C. M., Notten, P. H. L. & Kessels, W. M. M., 2008, Atomic layer deposition applications ; 4 : 214th ECS meeting, Honolulu,HI, October 12-17 2008. Londergan, A. & De Gendt, S. (redactie). Pennington, NJ, USA: The Electrochemical Society, blz. 209-218 (ECS Transactions; vol. 16).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

12 Citaten (Scopus)
6 Downloads (Pure)