• 1439 Citaties
20072020

Research output per year

Als u wijzigingen in Pure hebt gemaakt, zullen deze hier binnenkort zichtbaar zijn.

Onderzoeksoutput

2020

Mechanism of precursor blocking by acetylacetone inhibitor molecules during area-selective atomic layer deposition of SiO2

Merkx, M. J. M., Sandoval, T. E., Hausmann, D. M., Kessels, W. M. M. E. & Mackus, A. J. M., 12 feb 2020, (Geaccepteerd/In druk) In : Chemistry of Materials.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Synthesis of a hybrid nanostructure of ZnO-decorated MoS2 by atomic layer deposition

Oh, I. K., Kim, W. H., Zeng, L., Singh, J., Bae, D., Mackus, A. J. M., Song, J. G., Seo, S., Shong, B., Kim, H. & Bent, S. F., 25 feb 2020, In : ACS Nano. 14, 2, blz. 1757-1769 13 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

2019

Area-selective atomic layer deposition of ZnO by area activation using electron beam-induced deposition

Mameli, A., Karasulu, B., Verheijen, M., Barcones Campo, B., Macco, B., Mackus, A., Kessels, E. & Roozeboom, F., 26 feb 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 4, blz. 1250-1257 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
7 Citaten (Scopus)
41 Downloads (Pure)

Area-selective deposition of Ruthenium by combining atomic layer deposition and selective etching

Vos, M. F. J., Chopra, S. N., Verheijen, M. A., Ekerdt, J. G., Agarwal, S., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 22 mei 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 11, blz. 3878-3882 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
4 Citaten (Scopus)
73 Downloads (Pure)

From the bottom-up: toward area-selective atomic layer deposition with high selectivity

Mackus, A. J. M., Merkx, M. J. M. & Kessels, W. M. M., 8 jan 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 1, blz. 2-12 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
23 Citaten (Scopus)
266 Downloads (Pure)

Synthesis of doped, ternary, and quaternary materials by atomic layer deposition: a review

Mackus, A., Schneider, J. R., MacIsaac, C., Baker, J. G. & Bent, S. F., 26 feb 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 4, blz. 1142-1183 42 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

18 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)
2018

Approaches and opportunities for area-selective atomic layer deposition

Mackus, A. J. M., 3 jul 2018, 2018 International Symposium on VLSI Technology, Systems and Application, VLSI-TSA 2018. Piscataway: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2 blz. 8403864

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition of metal oxides on noble metals through catalytic oxygen activation

Singh, J. J., Thissen, N. F. W., Kim, W-H., Johnson, H., Kessels, W. M. M., Bol, A. A., Bent, S. F. & Mackus, A. J. M., 13 feb 2018, In : Chemistry of Materials. 30, 3, blz. 663–670 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
28 Citaten (Scopus)
151 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of cobalt using H2-, N2-, and NH3-based plasmas: on the role of the Co-reactant

Vos, M. F. J., van Straaten, G., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 4 okt 2018, In : Journal of Physical Chemistry C. 122, 39, blz. 22519-22529 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
10 Citaten (Scopus)
142 Downloads (Pure)

Investigating the difference in nucleation during Si-based ALD on different surfaces for future area-selective deposition

Filatova, E. A., Mameli, A., Mackus, A. J. M., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M., Hausmannd, D. & Elliott, S. D., 2018, 2018 IEEE 18th International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO). Piscataway: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2 blz. 8626336

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Downloads (Pure)

Isotropic atomic layer etching of ZnO using Acetylacetone and O2 plasma

Mameli, A., Verheijen, M. A., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Roozeboom, F., 7 nov 2018, In : ACS Applied Materials & Interfaces. 10, 44, blz. 38588-38595 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
3 Citaten (Scopus)
86 Downloads (Pure)

New approaches for area-selective atomic layer deposition of oxides

Mackus, A., 18 mrt 2018, In : Abstracts of Papers of the American Chemical Society. 255, 521.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftMeeting AbstractAcademic

2017

Area-selective atomic layer deposition: Role of surface chemistry

Mameli, A., Karasulu, B., Verheijen, M. A., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Roozeboom, F., 1 jan 2017, ECS Transactions. De Gendt, S., Dendooven, J., Roozeboom, F., Liu, C., Elam, J. W. & van der Straten, O. (redactie). 3 redactie Electrochemical Society, Inc., Vol. 80. blz. 39-48 10 blz. (ECS Transactions; vol. 80, nr. 3).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition of In 2O 3:H Using a μ-plasma printer for local area activation

Mameli, A., Kuang, Y., Aghaee, M., Ande, C. K., Karasulu, B., Creatore, M., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Roozeboom, F., 14 feb 2017, In : Chemistry of Materials. 29, 3, blz. 921-925 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
22 Citaten (Scopus)
95 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition of SiO2 using acetylacetone as a chemoselective inhibitor in an ABC-type cycle

Mameli, A., Merkx, M. J. M., Karasulu, B., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M. & MacKus, A. J. M., 26 sep 2017, In : ACS Nano. 11, 9, blz. 9303-9311 9 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
33 Citaten (Scopus)
225 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of aluminum fluoride using Al(CH3)3 and SF6 plasma

Vos, M. F. J., Knoops, H. C. M., Synowicki, R. A., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 11 sep 2017, In : Applied Physics Letters. 111, 11, 5 blz., 113105.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
5 Citaten (Scopus)
134 Downloads (Pure)

Graphene devices with bottom-up contacts by area-selective atomic layer deposition

Thissen, N. F. W., Vervuurt, R. H. J., Mackus, A. J. M., Mulders, J. J. L., Weber, J-W., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 1 jun 2017, In : 2D Materials. 4, 2, 9 blz., 025046.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
10 Citaten (Scopus)
135 Downloads (Pure)

Incomplete elimination of precursor ligands during atomic layer deposition of zinc-oxide, tin-oxide, and zinc-tin-oxide

Mackus, A. J. M., MacIsaac, C., Kim, W-H. & Bent, S. F., 7 feb 2017, In : Journal of Chemical Physics. 146, 5, 11 blz., 052802.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
28 Citaten (Scopus)
53 Downloads (Pure)

Resist-free fabricated carbon nanotube field-effect transistors with high-quality atomic-layer-deposited platinum contacts

Mackus, A. J. M., Thissen, N. F. W., Mulders, J. J. L., Trompenaars, P. H. F., Chen, Z., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 4 jan 2017, In : Applied Physics Letters. 110, 1, blz. 1-5 5 blz., 013101.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
5 Citaten (Scopus)
89 Downloads (Pure)
2016

A process for topographically selective deposition on 3D nanostructures by ion implantation

Kim, W-H., Hashemi, F. S. M., Mackus, A. J. M., Singh, J., Yeongin, K., Bobb-Semple, D., Fan, Y., Kaufman-Osborn, T., Godet, L. & Bent, S. F., 7 mrt 2016, In : ACS Nano. 10, 4, blz. 4451-4458 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

34 Citaten (Scopus)

Atomic layer deposition of Pd and Pt nanoparticles for catalysis: on the mechanisms of nanoparticle formation

Mackus, A. J. M., Weber, M. J., Thissen, N. F. W., Garcia-Alonso Garcia, D., Vervuurt, R. H. J., Assali, S., Bol, A. A., Verheijen, M. A. & Kessels, W. M. M., 2016, In : Nanotechnology. 27, 3, blz. 1-13 13 blz., 034001.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

45 Citaten (Scopus)
15 Downloads (Pure)

Growth, intermixing, and surface phase formation for zinc tin oxide nanolaminates produced by atomic layer deposition

Hägglund, C., Grehl, T., Tanskanen, J. T., Yee, Y. S., Mullings, M. N., Mackus, A. J. M., MacIsaac, C., Clemens, B. M., Brongersma, H. H. & Bent, S. F., 8 feb 2016, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 34, 2, 8 blz., 021516.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
10 Citaten (Scopus)
201 Downloads (Pure)

In situ spectroscopic ellipsometry during atomic layer deposition of Pt, Ru and Pd

Leick, N., Weber, J. W., Mackus, A. J. M., Weber, M. J., van de Sanden, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 17 feb 2016, In : Journal of Physics D: Applied Physics. 49, 12, 12 blz., 115504.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

14 Citaten (Scopus)
8 Downloads (Pure)

Tandem core-shell Si-Ta3-N5 photoanodes for photoelectrochemical water splitting

Narkeviciute, I., Chakthranont, P., Mackus, A. J. M., Hahn, C., Pinaud, B. A., Bent, S. F. & Jaramillo, T. F., 22 nov 2016, In : Nano Letters. 16, 12, blz. 7565-7572 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

57 Citaten (Scopus)
2014

Atomic layer deposition of highly transparent platinum counter electrodes for metal/polymer flexible dye-sensitized solar cells

Garcia - Alonso, D., Zardetto, V., Mackus, A. J. M., Rossi, De, F., Verheijen, M. A., Brown, T. M., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 2014, In : Advanced Energy Materials. 4, 4, blz. 1300831-1/8 8 blz., 1300831.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

21 Citaten (Scopus)
9 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of high-purity palladium films from Pd(hfac)2 and H2 and O2 plasmas

Weber, M. J., Mackus, A. J. M., Verheijen, M. A., Longo, V., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2014, In : Journal of Physical Chemistry C. 118, 6, blz. 8702-8711 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

36 Citaten (Scopus)
3 Downloads (Pure)

The use of atomic layer deposition in advanced nanopattering

Mackus, A. J. M., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2014, In : Nanoscale. 6, 19, blz. 10941-10960 20 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

146 Citaten (Scopus)
9 Downloads (Pure)
2013

Atomic layer deposition of nanomaterials for Li-ion batteries, fuel cells, and solar cells

Kessels, W. M. M., Knoops, H. C. M., Weber, M. J., Mackus, A. J. M. & Creatore, M., 2013, In : Material Matters. 8, 4, blz. 117-117 1 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelPopulair

2 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of platinum : from surface reactions to nanopatterning

Mackus, A. J. M., 2013, Eindhoven: Technische Universiteit Eindhoven. 205 blz.

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

Open Access
Bestand
1223 Downloads (Pure)

Catalytic combustion reactions during atomic layer deposition of Ru studied using 18O2 isotope labeling

Leick, N., Agarwal, S., Mackus, A. J. M., Potts, S. E. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Journal of Physical Chemistry C. 117, 41, blz. 21320-21330 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

7 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Catalytic surface reactions during nucleation and growth of atomic layer deposition of noble metals : a case study for platinum

Mackus, A. J. M., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2013, Atomic Layer Deposition Applications 9. Roozeboom, F. & Delabie, A. (redactie). Pennington, NJ, USA: The Electrochemical Society, blz. 183-193 (ECS Transactions; vol. 58).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Direct-wire atomic layer deposition of high-quality Pt nanostructures : selective growth conditions and seed layer requirements

Mackus, A. J. M., Thissen, N. F. W., Mulders, J. J. L., Trompenaars, P. H. F., Verheijen, M. A., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Journal of Physical Chemistry C. 117, 20, blz. 10788-10798 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

36 Citaten (Scopus)
5 Downloads (Pure)
72 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)

Nanofabricage van koolstofnanobuistransistors met atoomlaagdepositie

Thissen, N. F. W., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 2013, In : Nevac Blad. 51, 3, blz. 10-

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

2 Downloads (Pure)

Room-temperature atomic layer deposition of platinum

Mackus, A. J. M., Garcia-Alonso Garcia, D., Knoops, H. C. M., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Chemistry of Materials. 25, 9, blz. 1769-1774 6 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

45 Citaten (Scopus)
4 Downloads (Pure)
2012

Catalytic combustion and dehydrogenation reactions during atomic layer deposition of platinum

Mackus, A. J. M., Leick, N., Baker, L. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Chemistry of Materials. 24, 10, blz. 1752-1761

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

79 Citaten (Scopus)
7 Downloads (Pure)

Dehydrogenation reactions during atomic layer deposition of Ru using O2

Leick, N., Agarwal, S., Mackus, A. J. M. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Chemistry of Materials. 24, blz. 3696-3700

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

19 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Jaarringen

Mackus, A. J. M., Garcia-Alonso Garcia, D. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Nederlands Tijdschrift voor Natuurkunde. 78, 8, blz. 379-379

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

Mass spectrometry study of the temperature dependence of Pt film growth by atomic layer deposition

Erkens, I. J. M., Mackus, A. J. M., Knoops, H. C. M., Smits, P., Ven, van de, T. H. M., Roozeboom, F. & Kessels, W. M. M., 2012, In : ECS Journal of Solid State Science and Technology. 1, 6, blz. 255-262 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
25 Citaten (Scopus)
125 Downloads (Pure)

Nanocontacten schrijven met atoomlaagdepositie

Mackus, A. J. M., Dielissen, S. A. F., Mulders, J. J. L. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Nederlands Tijdschrift voor Natuurkunde. 78, 7, blz. 290-293 4 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

1 Downloads (Pure)

Nanopattering by direct-write atomic layer deposition

Mackus, A. J. M., Dielissen, S. A. F., Mulders, J. J. L. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Special Publication - Royal Society of Chemistry. 4, 15, blz. 4477-4480 4 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

44 Citaten (Scopus)
5 Downloads (Pure)

Plaatsopgeloste depositie van Pt nanostructuren door het combineren van elektronenbundel geïnduceerde depositie en atoomlaagdepositie

Dielissen, S. A. F., Mackus, A. J. M., Mulders, J. J. L. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Nevac Blad. 50, 2, blz. 7-9

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelPopulair

Supported core/shell bimetallic nanoparticles synthesis by atomic layer deposition

Weber, M. J., Mackus, A. J. M., Verheijen, M. A., Marel, van der, C. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Chemistry of Materials. 24, 15, blz. 2973-2977 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

110 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)
2011

Nucleation and growth of Pt atomic layer deposition on Al2O3 substrates using (methylcyclopentadienyl)-trimethyl platinum and O2 plasma

Baker, L., Cavanagh, A. S., Seghete, D., George, S. M., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M., Liu, Z. Y. & Wagner, F. T., 2011, In : Journal of Applied Physics. 109, 8, blz. 084333-1/10 10 blz., 084333.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
76 Citaten (Scopus)
342 Downloads (Pure)

Selective in-situ atomic layer deposition on structures created with EBID

Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Mulders, J. J. L., 2011, In : Microscopy and Analysis. 25, 4, blz. 5-8

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

4 Downloads (Pure)
2010

Local deposition of high-purity Pt nanostructures by combining Electron Beam Induced Deposition (EBID) and Atomic Layer Deposition (ALD)

Mackus, A. J. M., Mulders, J. J. L., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2010, Physics@FOM Veldhoven, 19-20 January 2010, Veldhoven, The Netherlands. Graef, de, M., Zegers, G., Min, E. & Pavert, van de, F. (redactie). Utrecht: Stichting FOM, blz. P03.57-162

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

3 Downloads (Pure)

Local deposition of high-purity Pt nanostructures by combining electron beam induced deposition and atomic layer deposition

Mackus, A. J. M., Mulders, J. J. L., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2010, In : Journal of Applied Physics. 107, 11, blz. 116102-1/3 3 blz., 116102.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
57 Citaten (Scopus)
134 Downloads (Pure)

Method for forming microscopic structures on a substrate

Jong, de, A. F., Mulders, J. J. L., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 24 jun 2010, Octrooi Nr. US2010159370

Onderzoeksoutput: OctrooiOctrooi-publicatie

Open Access
Bestand
31 Downloads (Pure)
Open Access
Bestand
41 Citaten (Scopus)
874 Downloads (Pure)
2009

Direct Local Deposition of High-Purity Pt Nanostructures by Combining EBID and ALD

Mackus, A. J. M., Mulders, H. J. J. L., Sanden, van de, M. C. M., Jong, de, A. F. & Kessels, W. M. M., 2009, Proceedings of the 56th international American Vacuum Society Symposium & Exhibition (AVS 56) 8-13 November 2009, San Jose, California. New York, NY: AVS, blz. SS1+PS+TF+AS+NS-TuA8-79

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Open Access
Bestand
35 Downloads (Pure)