• AdresToon op kaart

    Groene Loper 5, Department of Mathematics and Computer Science

    5612 AP Eindhoven

    Nederland

  • PostadresToon op kaart

    P.O. Box 513, Metaforum

    5600 MB Eindhoven

    Nederland

Filter
Octrooi-publicatie

Zoekresultaten

  • 2006

    Method and apparatus for angular-resolved spectroscopic lithography characterization

    Boef, den, A. J. (Uitvinder), Bleeker, A. J. (Uitvinder), Dommelen, van, Y. J. L. M. (Uitvinder), Dusa, M. (Uitvinder), Kiers, A. G. M. (Uitvinder), Lührmann, P. F. (Uitvinder), Pellemans, H. P. M. (Uitvinder), van der Schaar, M. (Uitvinder), Grouwstra, C. D. (Uitvinder) & Kraaij, van, M. G. M. M. (Uitvinder), 22 feb. 2006, Octrooi Nr. EP1628164 (A2)

    Onderzoeksoutput: OctrooiOctrooi-publicatie