Photonic Integration

Zoekresultaten

• Au/Ag Thermal Evaporator, Edwards

  Geluk, E. J. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• BVR2008 FC Electron Beam Evaporator

  Geluk, E. J. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Diamond tool scribers, Karl Suss and Loomis

  de Vries, T. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Ionwave, Tepla

  de Vries, T. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Karl Suss MA-6 contact aligner

  de Vries, T. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Mechanical / chemical polishing

  de Vries, T. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Optical Microscopes

  de Vries, T. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Oxford General Purpose RIE

  de Vries, T. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Oxford ICP

  Geluk, E. J. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Oxford Oxide/Nitride ICP PECVD

  de Vries, T. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Oxford Oxide/Nitride PECVD

  de Vries, T. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• PHI OLA 1&2

  Bente, E. A. J. M. (Manager)

  Photonic Integration

  Uitrusting/faciliteit: Onderzoekslaboratorium

• Polymer layer spinning

  de Vries, T. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Raith EBPG 5150 Electron Beam Lithography

  Geluk, E. J. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Rapid Thermal Annealer 1, Jipelec

  de Vries, T. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Rapid Thermal Annealer 2, Jipelec

  de Vries, T. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Resist deposition, GYRSET

  de Vries, T. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Semi Automatic Mask Aligner EVG 620NT

  de Vries, T. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Semi Automatic Wafer Bonder EVG 520IS

  de Vries, T. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• SEM JEOL

  Geluk, E. J. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Sentech InP ICP Reactive Ion Etcher

  de Vries, T. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Spectroscopic ellipsometer, Sentech

  de Vries, T. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

• Temescal FC2000 Electron Beam Evaporator

  Geluk, E. J. (Manager)

  NanoLab@TU/e

  Uitrusting/faciliteit: Uitrusting