• Groene Loper 5, Flux

    5612 AE Eindhoven

    Nederland

  • P.O. Box 513, Department of Electrical Engineering

    5600 MB Eindhoven

    Nederland

Uitrusting

ASML Pass 5500/1100B scanner

Jeroen Bolk (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Au/Ag Thermal Evaporator, Edwards

Erik Jan Geluk (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

BVR2008 FC Electron Beam Evaporator

Erik Jan Geluk (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Diamond tool scribers, Karl Suss and Loomis

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Ionwave, Tepla

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Karl Suss MA-6 contact aligner

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Mechanical / chemical polishing

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Optical Microscopes

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Oxford General Purpose RIE

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Oxford ICP

Erik Jan Geluk (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Oxford Oxide/Nitride ICP PECVD

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Oxford Oxide/Nitride PECVD

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

PHI OLA 1&2

E.A.J.M. Bente (Manager)

Photonic Integration

Uitrusting/faciliteit: Onderzoekslaboratorium

Polymer layer spinning

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Polymer Plasma stripper, Tepla

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Raith EBPG 5150 Electron Beam Lithography

Erik Jan Geluk (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Rapid Thermal Annealer 1, Jipelec

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Rapid Thermal Annealer 2, Jipelec

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Resist deposition, GYRSET

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Semi Automatic Mask Aligner EVG 620NT

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Semi Automatic Wafer Bonder EVG 520IS

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

SEM JEOL

Erik Jan Geluk (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Sentech InP ICP Reactive Ion Etcher

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Spectroscopic ellipsometer, Sentech

Tjibbe de Vries (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

Temescal FC2000 Electron Beam Evaporator

Erik Jan Geluk (Manager)

NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting