Faculteit Technische Natuurkunde

Onderzoeksoutput 1952 2020

Filter
Web publicatie / site
2015
312 Downloads (Pure)

New patterning paradigm? : selective deposition may be the way forward to the far reaches of device scaling after 7nm.

Lapedus, M. & Kessels, W. M. M., 2015

Onderzoeksoutput: Niet-tekstuele vormWeb publicatie / siteProfessioneel

Open Access
Bestand
electron beams
scaling
ion beams
activation
scanning electron microscopy
2012

Latest advances in plasma techniques used for atomic layer deposition

Kessels, W. M. M., 2012

Onderzoeksoutput: Niet-tekstuele vormWeb publicatie / siteProfessioneel

atomic layer epitaxy
nanotechnology
coatings
physics
ions