Organisatieprofiel
Introductie / missie
This Lab focusses on control techniques in lithographic scanners, in particular related to high-accuracy positioning systems.
Organisatieprofiel
A distinction can be made based on motion range (“long” indicating meter-scale, “short” indicating mm scale), and accuracy (micrometer or sub-nanometer). Long-range actuators typically have a moderate accuracy but suffer from nonlinearities like friction, requiring compensation methods using adaptive or learning techniques. Nonlinearities also play a role when using piezo materials for actuation in high-accuracy applications, possibly simultaneously with using the material as sensor (“self-sensing”). Finally, control techniques to improve sub-nanometer positioning systems have to deal with position dependency, in particular in the observation of dynamic modes in the measurement system. This has led to position-dependent observers creating the option of increasing control bandwidth.
VN Doelstellingen voor duurzame ontwikkeling
In 2015 stemden de VN-lidstaten in met 17 wereldwijde duurzame ontwikkelingsdoelstellingen (Sustainable Development Goals, SDG's) om armoede te beëindigen, de planeet te beschermen en voor iedereen welvaart te garanderen. Ons werk draagt bij aan de volgende duurzame ontwikkelingsdoelstelling(en):
-
SDG 3 – Goede gezondheid en welzijn -
SDG 7 – Betaalbare en schone energie -
SDG 9 – Industrie, innovatie en infrastructuur -
SDG 13 – Klimaatactie
Vingerafdruk
Samenwerkingen en hoofdonderzoeksgebieden uit de afgelopen vijf jaar
Profielen
-
Clarisse Bosman Barros, MSc
- Electrical Engineering, Control of High-Precision Mechatronic Systems Lab
- Electrical Engineering, Machine Learning for Modelling and Control
- Electrical Engineering, Control Systems - Promovendus
Persoon: Prom. : Promovendus, Prom. : Promovendus
-
Hans Butler
- Electrical Engineering, Control of High-Precision Mechatronic Systems Lab
- Electrical Engineering, Control Systems - Hoogleraar
Persoon: HGL : Hoogleraar
-
Roland Tóth
- Electrical Engineering, Control Systems - Hoogleraar
- EAISI High Tech Systems - Hoogleraar
- Electrical Engineering, Control of High-Precision Mechatronic Systems Lab
- Electrical Engineering, Machine Learning for Modelling and Control
- Electrical Engineering, Autonomous Motion Control (AMC) Lab
Persoon: HGL : Hoogleraar, UHD : Universitair Hoofddocent
projecten
- 10 Afgelopen
-
TKI-HTSM PPS-toeslag Advanced piezo-electric water stage for next generation lithography and metrology application - ASML project 2: Control architecture and design for a piezo-electric wafer stage
Nawijn, H. (Project communicatie medewerker), van der Hagen, D. (Project communicatie medewerker), Tóth, R. (Project Manager), Van den Hof, P. M. J. (Projectmedewerker), Bosman Barros, C. (Projectmedewerker) & Butler, H. (Projectmedewerker)
1/01/18 → 30/11/25
Project: Third tier
-
ERC Grant R. Toth (APROCS)
Tóth, R. (Project Manager), Tóth, R. (Projectmedewerker), Schoukens, M. (Projectmedewerker), Bloemers, T. A. H. (Projectmedewerker), Koelewijn, P. J. W. (Projectmedewerker), Nawijn, H. (Project communicatie medewerker), Iacob, L. C. (Projectmedewerker) & van der Hagen, D. (Project communicatie medewerker)
1/09/17 → 31/03/23
Project: Onderzoek direct
-
EVERLASTING (CS)
Hendrix, W. H. A. (Projectmedewerker), Weiland, S. (Projectmedewerker), Donkers, M. C. F. (Project Manager), Padilla Cazar, G. P. (Projectmedewerker), Nawijn, H. (Project communicatie medewerker) & van der Hagen, D. (Project communicatie medewerker)
1/09/16 → 28/02/21
Project: Onderzoek direct
-
A behavioral approach for LPV data-driven representations
Verhoek, C., Markovsky, I., Haesaert, S. & Tóth, R., 24 sep. 2025, (E-publicatie vóór gedrukte publicatie) In: IEEE Transactions on Automatic Control. XX, 11177019.Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review
2 !!Link opens in a new tab Citaties (SciVal) -
Data-Driven Analysis and Control of Nonlinear Systems with Stability and Performance Guarantees: A Linear Parameter-Varying Approach
Verhoek, C., 13 mei 2025, Eindhoven: Eindhoven University of Technology. 305 blz.Onderzoeksoutput: Scriptie › Dissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)
Open AccessBestand -
Exact Koopman Embedding of Discrete Time Wiener-Hammerstein Structure with Noise
Iacob, L. C., Tóth, R. & Schoukens, M., 2025, 6 blz.Onderzoeksoutput: Boek/rapport › Rapport › Academic
Open AccessBestand
Datasets
-
A Global Optimal Solution to the Eco-Driving Problem
Padilla Cazar, G. P. (Ontwerper), Weiland, S. (Ontwerper) & Donkers, M. C. F. (Ontwerper), Technische Universiteit Eindhoven, 14 jun. 2018
DOI: 10.4121/uuid:9e24298e-6f39-4e6f-8ef0-f8d6effa029d, https://data.4tu.nl/articles/_/12708830/1
Dataset
Prijzen
-
Best Student Paper Award IFAC CAO 2022
Bolderman, M. (Ontvanger), Fan, D. (Ontvanger), Lazar, M. (Ontvanger) & Butler, H. (Ontvanger), 2022
Prijs: Anders › Werk, activiteit of publicatie gerelateerde prijzen (lifetime, best paper, poster etc.) › Wetenschappelijk
-
Journal of Process Control Paper Prize Award 2020-Survey Category
Saltik, M. B. (Ontvanger), Özkan, L. (Ontvanger), Ludlage, J. H. A. (Ontvanger), Weiland, S. (Ontvanger) & Van den Hof, P. M. J. (Ontvanger), 2020
Prijs: Anders › Werk, activiteit of publicatie gerelateerde prijzen (lifetime, best paper, poster etc.) › Wetenschappelijk
Knipsels
-
US Patent Issued to ASML Netherlands on Oct. 17 for "Object positioning system diagnostic and calibration methods positioning control method lithographic apparatus and device manufacturing method" (Dutch, Belgian Inventors)
18/10/23
1 item van Media-aandacht
Pers / media: Vakinhoudelijk commentaar
-
ASML Netherlands Seeks Patent for Lithographic Apparatus and Device Manufacturing Method
17/10/23
1 item van Media-aandacht
Pers / media: Vakinhoudelijk commentaar
-
Studies from Institute for Computer Science and Control Update Current Data on Technology (Backflipping With Miniature Quadcopters By Gaussian-process-based Control and Planning)
13/09/23
1 item van Media-aandacht
Pers / media: Vakinhoudelijk commentaar
Scripties/Masterproeven
-
A Control Lyapunov and Barrier function approach to safe stabilization of nonlinear systems with application to cancer treatment
van Gemert, J. J. H. (Auteur), Lazar, M. (Afstudeerdocent 1) & Weiland, S. (Afstudeerdocent 2), 7 dec. 2023Scriptie/Masterproef: Master
Bestand -
Active damping for charge driven piezoelectric nanopositioning stage using self sensing control
Di Filippo, R. (Auteur), Weiland, S. (Afstudeerdocent 1), Butler, H. (Afstudeerdocent 2), Jansen, B. (Externe coach) & Vandervelden, R. (Externe coach), 19 sep. 2018Scriptie/Masterproef: Master
-
Adaptive friction compensation for an industrial coreless linear motor setup
van den Boom, P. W. M. (Auteur), Nguyen, T. (Afstudeerdocent 1), Lazar, M. (Afstudeerdocent 2) & Butler, H. (Afstudeerdocent 2), 13 dec. 2018Scriptie/Masterproef: Master