Control of High-Precision Mechatronic Systems Lab

  • Adres

    Flux, Groene Loper 19

    5612 AP Eindhoven

    Nederland

  • Postadres

    Department of Electrical Engineering, P.O. Box 513

    5600 MB Eindhoven

    Nederland

Organisatieprofiel

Introductie / missie

This Lab focusses on control techniques in lithographic scanners, in particular related to high-accuracy positioning systems.

Over de organisatie

A distinction can be made based on motion range (“long” indicating meter-scale, “short” indicating mm scale), and accuracy (micrometer or sub-nanometer). Long-range actuators typically have a moderate accuracy but suffer from nonlinearities like friction, requiring compensation methods using adaptive or learning techniques. Nonlinearities also play a role when using piezo materials for actuation in high-accuracy applications, possibly simultaneously with using the material as sensor (“self-sensing”). Finally, control techniques to improve sub-nanometer positioning systems have to deal with position dependency, in particular in the observation of dynamic modes in the measurement system. This has led to position-dependent observers creating the option of increasing control bandwidth.

VN Doelstellingen voor duurzame ontwikkeling

In 2015 stemden de VN-lidstaten in met 17 wereldwijde duurzame ontwikkelingsdoelstellingen (Sustainable Development Goals, SDG's) om armoede te beëindigen, de planeet te beschermen en voor iedereen welvaart te garanderen. Ons werk draagt bij aan de volgende duurzame ontwikkelingsdoelstelling(en):

  • SDG 3 – Goede gezondheid en welzijn
  • SDG 7 – Betaalbare en schone energie
  • SDG 9 – Industrie, innovatie en infrastructuur
  • SDG 13 – Klimaatactie

Vingerafdruk

Verdiep u in de onderzoeksgebieden waarop Control of High-Precision Mechatronic Systems Lab actief is. Deze onderwerplabels komen uit het werk van de leden van deze organisatie. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Netwerk

Recente externe samenwerking op landen-/regioniveau. Duik in de details door op de stippen te klikken of