Organisatieprofiel

Introductie / missie

We aim to develop advanced atomic layer deposition and etching processes through in-depth understanding of the underlying reaction mechanisms. With this we try to enable future device technologies in nanoelectronics, photonics, photovoltaics and beyond. 

Highlighted phrase

Atomic scale processing for future device technologies

Over de organisatie

Whether it is in the field of nanoelectronics, photonics, photovoltaics or quantum technology, future device technologies will heavily depend on atomic scale processing techniques such as atomic layer deposition (ALD) and atomic layer etching (ALE). These techniques allow for atomic-scale control and they provide many opportunities for bottom-up processing of the multitude of materials that will make up future devices. With our research we try to develop advanced processes that will enable these future device technologies. Current interests include thermal and plasma-assisted ALD and ALE processes as well as area- and topographically-selective processing. Very importantly, it also involves fundamental studies of the underlying reaction mechanisms through advanced in situ studies coupled to atomistic modelling. Our direct research partners are mostly equipment manufacturers and suppliers of chemicals.

VN Doelstellingen voor duurzame ontwikkeling

In 2015 stemden de VN-lidstaten in met 17 wereldwijde duurzame ontwikkelingsdoelstellingen (Sustainable Development Goals, SDG's) om armoede te beëindigen, de planeet te beschermen en voor iedereen welvaart te garanderen. Ons werk draagt bij aan de volgende duurzame ontwikkelingsdoelstelling(en):

  • SDG 7 – Betaalbare en schone energie
  • SDG 13 – Klimaatactie

Vingerafdruk

Verdiep u in de onderzoeksgebieden waarop Atomic scale processing actief is. Deze onderwerplabels komen uit het werk van de leden van deze organisatie. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Netwerk

Recente externe samenwerking op landen-/regioniveau. Duik in de details door op de stippen te klikken of
  • Best ALD paper Award

    Knoops, Harm (Ontvanger), 7 jul. 2022

    Prijs: AndersWerk, activiteit of publicatie gerelateerde prijzen (lifetime, best paper, poster etc.)Wetenschappelijk

  • Best Oral Presentation Award of the EN01 Silicon for Photovoltaics symposium

    Theeuwes, Roel J. (Ontvanger), 9 mei 2022

    Prijs: AndersWerk, activiteit of publicatie gerelateerde prijzen (lifetime, best paper, poster etc.)Wetenschappelijk

  • SiliconPV Award

    Theeuwes, Roel J. (Ontvanger), 30 mrt. 2022

    Prijs: AndersWerk, activiteit of publicatie gerelateerde prijzen (lifetime, best paper, poster etc.)Wetenschappelijk