Waferbonder, AML

    Partrick Bax (Manager)
NanoLab@TU/e

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

    Uitrustingsdetails

    Tekst

    With this machine it is possible to allign and subsequently bond wafers. Several types of bonds are possible, i.e. anodic, fusion, adhesive and eutectic. The maximum applicable voltage is 2.5 kV; the maximum applicable force is 15 kN. Bondig can be performed under vacuum or under controlled N2.

    Contactinformatie

    Naam

    Voorwaarden voor lenen / boeken

    Apparatuur: beschikbaar om te lenen/reserveren - intern en extern

    Vingerafdruk Verken de onderzoeksgebieden waarvoor deze uitrusting is gebruikt. Deze labels worden gegenereerd op basis van de gerelateerde outputs. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.