Oxford Nitride RIE

    Stacey Martina (Manager)

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

    Uitrustingsdetails

    Tekst

    Reactive Ion Etching reactor for etching Dielectric Materials like: Si-Nitride and Si-Oxide using timed etch steps without endpoint detection.

    Vingerafdruk Verken de onderzoeksgebieden waarvoor deze uitrusting is gebruikt. Deze labels worden gegenereerd op basis van de gerelateerde outputs. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.