MOVPE Aixtron Showerhead

    P.J. (René) van Veldhoven (Manager)

Uitrusting/faciliteit: Uitrusting

    Uitrustingsdetails

    Tekst

    Metal Organic Vapour Phase Epitaxy (MOVPE) reactor to grow epitaxial layers with the components In, Ga, As, P, and the doping materials Zn, Si, and Fe on InP wafers.

    Vingerafdruk Verken de onderzoeksgebieden waarvoor deze uitrusting is gebruikt. Deze labels worden gegenereerd op basis van de gerelateerde outputs. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.