New Process Concepts Towards Area-Selective Atomic Layer Deposition and Atomic Layer Etching of Zinc Oxide

A. Mameli (Deelnemer), Verheijen, M. A. (Deelnemer), B. Karasulu (Deelnemer), Mackus, A. J. M. (Deelnemer), Kessels, W. M. M. (Deelnemer), Roozeboom, F. (Spreker)

Activiteit: Types gesprekken of presentatiesAangemelde presentatieWetenschappelijk

Periode30 sep 20184 okt 2018
Evenementstitel234th ECS Meeting / AiMES: null
EvenementstypeAndere
LocatieCancun, Mexico
Mate van erkenningInternationaal