New Process Concepts Towards Area-Selective Atomic Layer Deposition and Atomic Layer Etching of Zinc Oxide
- A. Mameli (Deelnemer)
- Verheijen, M. A. (Deelnemer)
- B. Karasulu (Deelnemer)
- Mackus, A. J. M. (Deelnemer)
- Kessels, W. M. M. (Deelnemer)
- F. Roozeboom (Spreker)
Activiteit: Types gesprekken of presentaties › Aangemelde presentatie › Wetenschappelijk