In-line EUV beam monitoring using microwaves

  • F.M.J.H. van de Wetering (Bijdrager)

Activiteit: Types andere activiteitenOverigeWetenschappelijk

Periode7 mrt. 20178 mrt. 2017
Evenementstitel29th Symposium on Plasma Physics and Radiation Technology
EvenementstypeCongres
Conferentienummer29
OrganisatorenDIFFER - Dutch Institute for Fundamental Energy Research, Technische Universiteit Eindhoven
LocatieLunteren, NederlandToon op kaart
Mate van erkenningNationaal