European Materials Research Society, Fall Meeting, Warsaw, Poland

Kessels, W. M. M. (. (Uitgenodigde spreker)

Activiteit: Types gesprekken of presentatiesGenodigd sprekerWetenschappelijk

Beschrijving

Remote plasma ALD of oxides and nitrides: fundaments and applications
Periode1 sep 2007
EvenementstitelEuropean Materials Research Society, Fall Meeting, Warsaw, Poland
EvenementstypeCongres
LocatieWarsaw, Polen