A Switched-Mode Power Amplifier for Ion Energy Control In Plasma Etching

  • Qihao Yu (Spreker)

Activiteit: Types gesprekken of presentaties › Aangemelde presentatie › Wetenschappelijk

Periode10 sep. 2020
Evenementstitel22nd European Conference on Power Electronics and Applications, EPE 2020 ECCE Europe
EvenementstypeCongres
LocatieLyon, FrankrijkToon op kaart