9th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2009), Monterey, USA

Kessels, W. M. M. (. (Uitgenodigde spreker)

Activiteit: Types gesprekken of presentatiesGenodigd sprekerWetenschappelijk

Beschrijving

Reaction mechanisms during remote plasma ALD for low temperature materials and energy-related applications
Periode20 jul 2009
Evenementstitel9th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2009), Monterey, USA
EvenementstypeCongres
Conferentienummer9
LocatieMonterey, California, Verenigde Staten van Amerika