SCEPTER, een experiment voor de simulatie van plasma-etsen

  • M.L.P. Dirkx

Student thesis: Master

Abstract

Date of Award31 Aug 1990
Original languageDutch
SupervisorH.A.J. Senhorst (Supervisor 1), H.C.W. Beijerinck (Supervisor 2) & Rien de Koning (Supervisor 2)

Cite this

'