Skip to main navigation
Skip to search
Skip to main content
Help & FAQ
English
Nederlands
Home
Researchers
Research output
Organisational units
Activities
Projects
Prizes
Press / Media
Facilities / Equipment
Datasets
Courses
Research areas
Student theses
Search by expertise, name or affiliation
LPCVD van silicium uit silaan in een jet-geroerde reactor : het opstarten en inregelen van de meetopstelling
A.P.A. Theelen
Department of Chemical Engineering and Chemistry
Student thesis
:
Master
Abstract
Date of Award
31 Aug 1993
Original language
Dutch
Supervisor
W.L.M. Weerts (Supervisor 1)
Cite this
Standard
LPCVD van silicium uit silaan in een jet-geroerde reactor : het opstarten en inregelen van de meetopstelling
Theelen, A. P. A. (Author).
31 Aug 1993
Student thesis
:
Master