Invloed van substraateigenschappen en annealcondities op de soortelijke weerstand en de Hall-beweeglijkheid van opgedampte polykristallijne silicium lagen met diverse boor doteringen

  • Wim M. Boogaerdt

Student thesis: Master

Abstract

Date of Award31 Aug 1982
Original languageDutch
SupervisorF. van der Maesen (Supervisor 1), A.H.M. Kipperman (Supervisor 2) & Ronald J.C. van Zolingen (Supervisor 2)

Cite this

'