Etsen van SiO2, selectief t.o.v. Si en TiSi2 in een plasma reactor

  • M.E.F. Roelofs

Student thesis: Master

Abstract

Date of Award31 Oct 1997
Original languageDutch
SupervisorGerrit M.W. Kroesen (Supervisor 1) & P.M. Meijer (External coach)

Cite this

'