Dynamica van de SiFx-reactielaag bij het etsen van Si(100) met XeF2

  • M.F.A. Eurlings

Student thesis: Master

Abstract

Date of Award31 Oct 1996
Original languageDutch
SupervisorM.J.M. Vugts (Supervisor 1)

Cite this

Dynamica van de SiFx-reactielaag bij het etsen van Si(100) met XeF2
Eurlings, M. F. A. (Author). 31 Oct 1996

Student thesis: Master