De bepaling van de absolute dichtheden van radicalen in een CF4-etsplasma met infrarood Fourier transformatie spectrometrie : meting en verwerking

  • J.H.W.G. den Boer

Student thesis: Master

Abstract

Date of Award30 Jun 1989
Original languageDutch
SupervisorM. Haverlag (Supervisor 1)

Cite this

De bepaling van de absolute dichtheden van radicalen in een CF4-etsplasma met infrarood Fourier transformatie spectrometrie : meting en verwerking
den Boer, J. H. W. G. (Author). 30 Jun 1989

Student thesis: Master