Dreidimensionale material-analysen im nanometerbereich

Marcel Verheijen; Robbert Weemaes; Monja Kaiser; Petra Krystek

doi:10.1002/nadc.200962908

Dreidimensionale material-analysen im nanometerbereich

Translated title of the contribution: Three-dimentional material analyses in the field of nanometry

Marcel Verheijen, Robbert Weemaes, Monja Kaiser, Petra Krystek

Research output: Contribution to journal › Article › Academic › peer-review

Abstract

Ionenstrahl‐Techniken und deren Kombination mit der Elektronenmikroskopie machen Materialfehler in nanometerdünnen Schichten sichtbar.

Translated title of the contribution	Three-dimentional material analyses in the field of nanometry
Original language	German
Pages (from-to)	50-52
Number of pages	3
Journal	Nachrichten aus der Chemie
Volume	57
Issue number	1
DOIs	https://doi.org/10.1002/nadc.200962908
Publication status	Published - 1 Jan 2009
Externally published	Yes

Access to Document

10.1002/nadc.200962908

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@article{1be2c784d7b94f1083428eba2863941f,

title = "Dreidimensionale material-analysen im nanometerbereich",

abstract = "Ionenstrahl‐Techniken und deren Kombination mit der Elektronenmikroskopie machen Materialfehler in nanometerd{\"u}nnen Schichten sichtbar.",

author = "Marcel Verheijen and Robbert Weemaes and Monja Kaiser and Petra Krystek",

year = "2009",

month = jan,

day = "1",

doi = "10.1002/nadc.200962908",

language = "Duits",

volume = "57",

pages = "50--52",

journal = "Nachrichten aus der Chemie",

issn = "1439-9598",

publisher = "Walter de Gruyter GmbH",

number = "1",

}

TY - JOUR

T1 - Dreidimensionale material-analysen im nanometerbereich

AU - Verheijen, Marcel

AU - Weemaes, Robbert

AU - Kaiser, Monja

AU - Krystek, Petra

PY - 2009/1/1

Y1 - 2009/1/1

N2 - Ionenstrahl‐Techniken und deren Kombination mit der Elektronenmikroskopie machen Materialfehler in nanometerdünnen Schichten sichtbar.

AB - Ionenstrahl‐Techniken und deren Kombination mit der Elektronenmikroskopie machen Materialfehler in nanometerdünnen Schichten sichtbar.

UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?scp=58149394885&partnerID=8YFLogxK

U2 - 10.1002/nadc.200962908

DO - 10.1002/nadc.200962908

M3 - Tijdschriftartikel

AN - SCOPUS:58149394885

VL - 57

SP - 50

EP - 52

JO - Nachrichten aus der Chemie

JF - Nachrichten aus der Chemie

SN - 1439-9598

IS - 1

ER -