Abstract
In Nederland is er veel activiteit op het gebied van ALD, zowel op
academisch als industrieel vlak. Dit hebben we mooi uiteengezet in
het juni nummer 2020 van het NEVAC blad, onder de slogan How
a small country can be big in nanolayers. Op 9 juni dit jaar was de
spatial ALD dag in grandcafé de Zwarte Doos op de campus van de
Technische Universiteit Eindhoven. Specifiek de variant spatial ALD
was het onderwerp van deze workshop. Zie het kader als je meer wilt
weten over wat ALD en spatial ALD zijn. In dit artikel blik ik graag
met jullie terug op deze dag.
academisch als industrieel vlak. Dit hebben we mooi uiteengezet in
het juni nummer 2020 van het NEVAC blad, onder de slogan How
a small country can be big in nanolayers. Op 9 juni dit jaar was de
spatial ALD dag in grandcafé de Zwarte Doos op de campus van de
Technische Universiteit Eindhoven. Specifiek de variant spatial ALD
was het onderwerp van deze workshop. Zie het kader als je meer wilt
weten over wat ALD en spatial ALD zijn. In dit artikel blik ik graag
met jullie terug op deze dag.
| Original language | Dutch |
|---|---|
| Pages (from-to) | 18-20 |
| Journal | Nevac Blad |
| Volume | 60 |
| Issue number | 2 |
| Publication status | Published - 8 Jul 2022 |