Real-time spectroscopic ellipsometry

M.H.W. Verbruggen; Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Korte onderzoekersopleiding Technische Natuurkunde

Real-time spectroscopic ellipsometry

M.H.W. Verbruggen, Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Korte onderzoekersopleiding Technische Natuurkunde

Research output: Thesis › Pd Eng Thesis

Original language	English
Qualification	Doctor of Philosophy
Awarding Institution
Supervisors/Advisors	de Nijs, Jan M.M., Supervisor, External person
Award date	1 Jan 1992
Place of Publication	Eindhoven
Publisher	Technische Universiteit Eindhoven
Print ISBNs	90-5282-180-1
Publication status	Published - 1992

Bibliographical note

Eindverslag

Cite this

@phdthesis{d0fd7ffc6f9845e59daf0d18d033158f,

title = "Real-time spectroscopic ellipsometry",

author = "M.H.W. Verbruggen and {Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Korte onderzoekersopleiding Technische Natuurkunde}",

note = "Eindverslag",

year = "1992",

language = "English",

isbn = "90-5282-180-1",

publisher = "Technische Universiteit Eindhoven",

}