PVD-magnetronsputteren : analyse van het proces

F.L.H. Rietrae, R.O.E. Vijgen

    Research output: Book/ReportReportPopular

    80 Downloads (Pure)
    Original languageDutch
    Place of PublicationEindhoven
    PublisherTechnische Universiteit Eindhoven
    Number of pages21
    Publication statusPublished - 1993

    Publication series

    NameTH Eindhoven. Afd. Werktuigbouwkunde, Vakgroep Produktietechnologie : WPB
    VolumeWPA1494

    Cite this