| Original language | Dutch |
|---|---|
| Pages (from-to) | 322-325 |
| Number of pages | 4 |
| Journal | Nederlands Tijdschrift voor Natuurkunde |
| Volume | 79 |
| Issue number | 8 |
| Publication status | Published - 2013 |
Plasma-oppervlak-interactie tijdens plasmageassisteerde atoomlaagdepositie
H.B. Profijt
Research output: Contribution to journal › Article › Professional