Abstract
Door de ontwikkeling van quantumcomputers gloort een ongekende revolutie in rekenkracht. Echter, de nanometerschaalstructuren die nodig zijn om de vereiste qubits en quantumcircuits de juiste functionaliteit te geven, behoeven zeer zuivere materialen en nauwkeurige aangroei. De vacuümtechniek plasma-geassisteerde atoomlaagdepositie blijkt een veelbelovende methode te zijn, zoals we laten zien voor de aangroei van supergeleidende TaN- en NbTiN-lagen met beheersing van de materiaaleigenschappen. Het is een noodzakelijke uitbreiding van de ‘quantumgereedschapskist’.
| Original language | Dutch |
|---|---|
| Pages (from-to) | 4-10 |
| Journal | Nevac Blad |
| Volume | 63 |
| Issue number | 1 |
| Publication status | Published - Apr 2025 |