Ontwerpen van reactoren voor thermische Chemical Vapor Deposition (CVD)

N.M.A. de Wild, Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Proces-technologie

Research output: ThesisPd Eng Thesis

Original languageDutch
QualificationDoctor of Philosophy
Awarding Institution
Supervisors/Advisors
  • Marin, G.B.M.M., Supervisor
  • Metselaar, Ruud, Supervisor
  • de Croon, Mart, Supervisor
Award date1 Jan 1993
Place of PublicationEindhoven
Publisher
Print ISBNs90-5282-282-4
Publication statusPublished - 1993

Bibliographical note

Eindverslag

Cite this

de Wild, N. M. A., & Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Proces-technologie (1993). Ontwerpen van reactoren voor thermische Chemical Vapor Deposition (CVD). Eindhoven: Technische Universiteit Eindhoven.
de Wild, N.M.A. ; Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Proces-technologie. / Ontwerpen van reactoren voor thermische Chemical Vapor Deposition (CVD). Eindhoven : Technische Universiteit Eindhoven, 1993.
@phdthesis{c7705f8cd7494991954217971d037e12,
title = "Ontwerpen van reactoren voor thermische Chemical Vapor Deposition (CVD)",
author = "{de Wild}, N.M.A. and {Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Proces-technologie}",
note = "Eindverslag",
year = "1993",
language = "Nederlands",
isbn = "90-5282-282-4",
publisher = "Technische Universiteit Eindhoven",

}

de Wild, NMA & Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Proces-technologie 1993, 'Ontwerpen van reactoren voor thermische Chemical Vapor Deposition (CVD)', Doctor of Philosophy, Eindhoven.

Ontwerpen van reactoren voor thermische Chemical Vapor Deposition (CVD). / de Wild, N.M.A.; Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Proces-technologie.

Eindhoven : Technische Universiteit Eindhoven, 1993.

Research output: ThesisPd Eng Thesis

TY - THES

T1 - Ontwerpen van reactoren voor thermische Chemical Vapor Deposition (CVD)

AU - de Wild, N.M.A.

AU - Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Proces-technologie

N1 - Eindverslag

PY - 1993

Y1 - 1993

M3 - Pd Eng Thesis

SN - 90-5282-282-4

PB - Technische Universiteit Eindhoven

CY - Eindhoven

ER -

de Wild NMA, Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Proces-technologie. Ontwerpen van reactoren voor thermische Chemical Vapor Deposition (CVD). Eindhoven: Technische Universiteit Eindhoven, 1993.