Meten en berekenen van parameters bij het silox-diffusieproces

C.J.H. Heijnen, B.H. Roy, van

Research output: Book/ReportReportAcademic

37 Downloads (Pure)
Original languageDutch
Place of PublicationEindhoven
PublisherTechnische Hogeschool Eindhoven
Number of pages16
ISBN (Print)90-6144-133-1
Publication statusPublished - 1983

Publication series

NameEUT report. E, Fac. of Electrical Engineering
Volume83-E-133
ISSN (Print)0929-8533

Cite this

Heijnen, C. J. H., & Roy, van, B. H. (1983). Meten en berekenen van parameters bij het silox-diffusieproces. (EUT report. E, Fac. of Electrical Engineering; Vol. 83-E-133). Eindhoven: Technische Hogeschool Eindhoven.
Heijnen, C.J.H. ; Roy, van, B.H. / Meten en berekenen van parameters bij het silox-diffusieproces. Eindhoven : Technische Hogeschool Eindhoven, 1983. 16 p. (EUT report. E, Fac. of Electrical Engineering).
@book{a33aa00867f54a149594479fcf73900f,
title = "Meten en berekenen van parameters bij het silox-diffusieproces",
author = "C.J.H. Heijnen and {Roy, van}, B.H.",
year = "1983",
language = "Nederlands",
isbn = "90-6144-133-1",
series = "EUT report. E, Fac. of Electrical Engineering",
publisher = "Technische Hogeschool Eindhoven",

}

Heijnen, CJH & Roy, van, BH 1983, Meten en berekenen van parameters bij het silox-diffusieproces. EUT report. E, Fac. of Electrical Engineering, vol. 83-E-133, Technische Hogeschool Eindhoven, Eindhoven.

Meten en berekenen van parameters bij het silox-diffusieproces. / Heijnen, C.J.H.; Roy, van, B.H.

Eindhoven : Technische Hogeschool Eindhoven, 1983. 16 p. (EUT report. E, Fac. of Electrical Engineering; Vol. 83-E-133).

Research output: Book/ReportReportAcademic

TY - BOOK

T1 - Meten en berekenen van parameters bij het silox-diffusieproces

AU - Heijnen, C.J.H.

AU - Roy, van, B.H.

PY - 1983

Y1 - 1983

M3 - Rapport

SN - 90-6144-133-1

T3 - EUT report. E, Fac. of Electrical Engineering

BT - Meten en berekenen van parameters bij het silox-diffusieproces

PB - Technische Hogeschool Eindhoven

CY - Eindhoven

ER -

Heijnen CJH, Roy, van BH. Meten en berekenen van parameters bij het silox-diffusieproces. Eindhoven: Technische Hogeschool Eindhoven, 1983. 16 p. (EUT report. E, Fac. of Electrical Engineering).