Layout-design of a 300 mm silicon wafer production area

P.A.M. Haagh; Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Computergesteund ontwerpen en fabriceren van discrete produkten

Layout-design of a 300 mm silicon wafer production area

P.A.M. Haagh, Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Computergesteund ontwerpen en fabriceren van discrete produkten

Research output: Thesis › EngD Thesis

Original language	English
Qualification	Doctor of Philosophy
Awarding Institution
Supervisors/Advisors	Rooda, Koos, Supervisor
Award date	1 Jan 1998
Place of Publication	Eindhoven
Publisher	Technische Universiteit Eindhoven. Stan Ackermans Instituut
Print ISBNs	90-5282-908-X
Publication status	Published - 1998

Bibliographical note

Eindverslag

Cite this

@phdthesis{ff46b0a27ad145cebd4f1893f16c5356,

title = "Layout-design of a 300 mm silicon wafer production area",

author = "P.A.M. Haagh and {Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Computergesteund ontwerpen en fabriceren van discrete produkten}",

note = "Eindverslag",

year = "1998",

language = "English",

isbn = "90-5282-908-X",

publisher = "Technische Universiteit Eindhoven. Stan Ackermans Instituut",

}

TY - THES

T1 - Layout-design of a 300 mm silicon wafer production area

AU - Haagh, P.A.M.

AU - Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Computergesteund ontwerpen en fabriceren van discrete produkten

N1 - Eindverslag

PY - 1998

Y1 - 1998

M3 - EngD Thesis

SN - 90-5282-908-X

PB - Technische Universiteit Eindhoven. Stan Ackermans Instituut

CY - Eindhoven

ER -