Een plasma deeltjesbron voor grote flux atomaire en andere radicalen

M.J. de Graaf, H.R.M. van Lierop, M.C.M. van de Sanden, D.C. Schram

Research output: Contribution to journalArticlePopular

46 Downloads (Pure)
Original languageDutch
Pages (from-to)77-83
Number of pages7
JournalNevac Blad
Volume32
Issue number4
Publication statusPublished - 1994

Cite this