Dynamics of ion assisted etching on a time scale 100 mus-1000 s

G.J.P. Joosten; Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Korte onderzoekersopleiding Technische Natuurkunde

Dynamics of ion assisted etching on a time scale 100 mus-1000 s

G.J.P. Joosten, Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Korte onderzoekersopleiding Technische Natuurkunde

Research output: Thesis › EngD Thesis

Original language	English
Qualification	Doctor of Philosophy
Awarding Institution
Supervisors/Advisors	Beijerinck, Herman, Supervisor
Award date	1 Jan 1993
Place of Publication	Eindhoven
Publisher	Technische Universiteit Eindhoven
Print ISBNs	90-5282-240-9
Publication status	Published - 1993

Bibliographical note

Eindverslag.

Cite this

@phdthesis{d511b130cf3243d2a68d59cecc0a1398,

title = "Dynamics of ion assisted etching on a time scale 100 mus-1000 s",

author = "G.J.P. Joosten and {Technische Universiteit Eindhoven (TUE). Stan Ackermans Instituut. Korte onderzoekersopleiding Technische Natuurkunde}",

note = "Eindverslag.",

year = "1993",

language = "English",

isbn = "90-5282-240-9",

publisher = "Technische Universiteit Eindhoven",

type = "EngD Thesis",

}