Deposition of a-Si:H using a supersonically expanding argon plasma

G.J. Meeusen; A.T.M. Wilbers; R.F.G. Meulenbroeks; C.J. Timmermans; D.C. Schram

Deposition of a-Si:H using a supersonically expanding argon plasma

G.J. Meeusen, A.T.M. Wilbers, R.F.G. Meulenbroeks, C.J. Timmermans, D.C. Schram

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Academic › peer-review

Original language	English
Title of host publication	Comptes rendus des travaux du 8e colloque international sur les procedes plama, 10-14 juin, 1991, Antibes, France
Place of Publication	Paris
Publisher	Société Française du Vide
Pages	241-243
Publication status	Published - 1991
Event	8e colloque international sur les procedes plama, 1991 - Antibes, France Duration: 10 Jun 1991 → 14 Jun 1991

Publication series

Name	Le vide, les couches minces
Volume	suppl. 256

Conference

Conference	8e colloque international sur les procedes plama, 1991
Country/Territory	France
City	Antibes
Period	10/06/91 → 14/06/91

Cite this

Meeusen, G. J., Wilbers, A. T. M., Meulenbroeks, R. F. G., Timmermans, C. J., & Schram, D. C. (1991). Deposition of a-Si:H using a supersonically expanding argon plasma. In Comptes rendus des travaux du 8e colloque international sur les procedes plama, 10-14 juin, 1991, Antibes, France (pp. 241-243). (Le vide, les couches minces; Vol. suppl. 256). Société Française du Vide.

@inproceedings{605f19971e1c4313bab536094663c57b,

title = "Deposition of a-Si:H using a supersonically expanding argon plasma",

author = "G.J. Meeusen and A.T.M. Wilbers and R.F.G. Meulenbroeks and C.J. Timmermans and D.C. Schram",

year = "1991",

language = "English",

series = "Le vide, les couches minces",

publisher = "Soci{\'e}t{\'e} Fran{\c c}aise du Vide",

pages = "241--243",

booktitle = "Comptes rendus des travaux du 8e colloque international sur les procedes plama, 10-14 juin, 1991, Antibes, France",

address = "France",

note = "8e colloque international sur les procedes plama, 1991 ; Conference date: 10-06-1991 Through 14-06-1991",

}

Meeusen, GJ, Wilbers, ATM, Meulenbroeks, RFG, Timmermans, CJ & Schram, DC 1991, Deposition of a-Si:H using a supersonically expanding argon plasma. in Comptes rendus des travaux du 8e colloque international sur les procedes plama, 10-14 juin, 1991, Antibes, France. Le vide, les couches minces, vol. suppl. 256, Société Française du Vide, Paris, pp. 241-243, 8e colloque international sur les procedes plama, 1991, Antibes, France, 10/06/91.

Deposition of a-Si:H using a supersonically expanding argon plasma. / Meeusen, G.J.; Wilbers, A.T.M.; Meulenbroeks, R.F.G. et al.
Comptes rendus des travaux du 8e colloque international sur les procedes plama, 10-14 juin, 1991, Antibes, France. Paris: Société Française du Vide, 1991. p. 241-243 (Le vide, les couches minces; Vol. suppl. 256).

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Academic › peer-review

TY - GEN

T1 - Deposition of a-Si:H using a supersonically expanding argon plasma

AU - Meeusen, G.J.

AU - Wilbers, A.T.M.

AU - Meulenbroeks, R.F.G.

AU - Timmermans, C.J.

AU - Schram, D.C.

PY - 1991

Y1 - 1991

M3 - Conference contribution

T3 - Le vide, les couches minces

SP - 241

EP - 243

BT - Comptes rendus des travaux du 8e colloque international sur les procedes plama, 10-14 juin, 1991, Antibes, France

PB - Société Française du Vide

CY - Paris

T2 - 8e colloque international sur les procedes plama, 1991

Y2 - 10 June 1991 through 14 June 1991

ER -