Depositie van amorf gehydrogeneerd silicium met een supersoon expanderend cascadeboogplasma

G.J. Meeusen, A.T.M. Wilbers, R.F.G. Meulenbroeks, M.C.H.M. Poorts, M.C.M. van de Sanden, D.C. Schram

Research output: Contribution to conferenceAbstractAcademic

32 Downloads (Pure)
Original languageDutch
Pages23
Publication statusPublished - 12 Mar 1991
EventTweedaags symposium plasma- en gasontladingsfysica - De Blije Werelt, Lunteren, Netherlands
Duration: 12 Mar 199113 Mar 1991

Conference

ConferenceTweedaags symposium plasma- en gasontladingsfysica
CountryNetherlands
CityLunteren
Period12/03/9113/03/91

Cite this