De nanometer onder de duim

Research output: Book/ReportInaugural speechAcademic

185 Downloads (Pure)

Abstract

Elektronische apparatuur, zoals slimme telefoons, tabletcomputers en navigatiesystemen zijn niet meer uit het dagelijks leven weg te denken. Hun ontwikkeling is mogelijk gemaakt door verregaande miniaturisatie van geïntegreerde schakelingen (IC’s), die grotendeels te danken is aan de vooruitgang van lithografische apparatuur. Het verkrijgen van de benodigde nanometer positienauwkeurigheid tijdens een met hoge snelheid scannende beweging is mede mogelijk gemaakt door regeltechnische oplossingen. De leerstoel Lithographic Scanner Control levert vanuit de regeltechniek een bijdrage aan hogere nauwkeurigheid, zowel van de snel bewegende stages als van de machineonderdelen die juist extreem stil moeten staan, zoals projectielenzen en sensoren. In de intreerede zal Hans Butler het lithografisch proces en het belang van nauwkeurigheid daarin belichten, uiteenzetten hoe het regeltechnisch ontwerp van de stages daaraan een bijdrage heeft geleverd en aanstippen welke ontwikkelingen nog te verwachten zijn.
Original languageEnglish
Place of PublicationEindhoven
PublisherTechnische Universiteit Eindhoven
Number of pages28
ISBN (Print)978-90-386-3401-2
Publication statusPublished - 2013

Bibliographical note

Intreerede, uitgesproken op 14 Juni 2013 aan de Technische Universiteit Eindhoven

Fingerprint Dive into the research topics of 'De nanometer onder de duim'. Together they form a unique fingerprint.

  • Cite this

    Butler, H. (2013). De nanometer onder de duim. Technische Universiteit Eindhoven.