Microsystems

  • AddressShow on map

    De Zaale, Building 15, Gemini Zuid 3.132

    Eindhoven

    Netherlands

  • Postal addressShow on map

    PO Box 513

    5600 MB Eindhoven

    Netherlands

Filter
Paper

Search results

  • 2003

    High-Q integrated RF passives and micro-mechanical capacitors on silicon

    van Beek, J. T. M., van Delden, M. H. W. M., van Dijken, A., van Eerd, P., van Grootel, M., Jansman, A. B. M., Kemmeren, A. L. A. M., Rijks, T. G. S. M., Steeneken, P. G., den Toonder, J., Ulenaers, M., den Dekker, A., Lok, P., Pulsford, N., van Straten, F., van Teeffelen, L., de Coster, J. & Puers, R., 1 Dec 2003, p. 147-150. 4 p.

    Research output: Contribution to conference › Paper › Academic

    23 Citations (Scopus)